可调整的角度： 30o,45o,50o,55o,60o,65o,70o,75o,80o,90o
测量方法： 可旋转的椭圆偏振仪,可采样144个数据点.
测量时间： 3秒
光源： HeNe 6328埃, 辐射少于1mw
光源直径： 1mm 直径（1X3mm 在晶片上 70o）
样品监视器： 用39倍的显微镜结合起来寻表面进行观察，倾斜面其平整度检查.
样品（晶片）尺寸: 标准直径6英寸
工作台面： 在一个直径为6”的电晶片上，3”直线距离和任意旋转360o 都可以覆
盖任何一点.其倾斜的台面在X和Y平面上的任何样品的平整度在1o.
软件： 在Windows 95/98 中运行LMOD多层检测程序
计算机： 奔腾 PC 和HP 彩色喷墨打印机
薄膜厚度范围： 0-60，000 埃
***度： 在***大的测量范围内 &plu***n;1埃
检测器： 有自动增益功能的固体检测器
折射系数： 在大部分的测量范围内 &plu***n;.002
电源: 220V
尺寸: 高度:18英寸,宽度: 33英寸,深度: 15英寸
净重: 65lbs 载重: 95lbs
设备通讯口: 带RS232 接口遵从SECS标准
CD RH 承诺： 所有供应商都提供***好的设备，21CFR 1040 制造商***出少于
1mw 低功率辐射能.用任何一种光源如:太阳或电灯,操作时,不能直
接看雷射光束或从平滑表面反射出的反射光.
CE 承诺: 电气符合欧洲工业标准，带CE认证.