1. ***源:油浸式小型微小焦点***管. 50KV管电压，可变管电压。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 检出器：比例计数管。
4. 滤波器：采用 Co 和 Ni 双滤波器及数位式滤波器，可单一或同时使用。
5. 准直仪：Collimator 采用五种孔径一体成型式，可自动切换使用。
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜.
(选购) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜.
(选购) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜.
6. 样品观测系统：彩色CCD及高画质显示屏。
7. 多能谱分析器：使用256高频分析器，光谱自动分析，在执行测量及运算时，非常快速。
贰. 计算机操作部:
8. 计算机系统：(仅供参考)
w 联想 兼容中文个人计算机.
w CPU：Intel Celeron 2GHz或以上.
w RAM：2GB或以上.
w DVD-ROM ×1.
w RS232串行通信接口
w Hard Disk：160 GB或以上.
w 19" 高画质显示屏.
9. 打印机：日本EPSON彩色喷墨式打印机。
10. 本机型(EX-731系列)之操作系统采中文视窗(Windows XP)对话式操作，非常简便。
参. 特性说明:
11. 测量项目：
w 单层膜厚测定.
w 2层膜厚测定.
w 3层膜厚测定.
w 合金膜厚成份比同时测定.
w 化学镍膜厚测定.
w 压铸锌底材上镀铜、镍二层膜厚同时测定.
w 元素的光谱峰值测定分析.
12. 测量材质：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量。 原子序22以下为吸收法测量。
13. 测量范围：原子序22 ~ 24 ， 约 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 约 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 ， 约 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 约 0.05~ 10 um.
14.测量机能：
w 自动测定.
w 同一点重复测定机能
w 输出形式设定.
w 自动测定条件测定.
w 能谱测定.
w 2点间等距离测定.