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自动测试系统ATE在IC测试中的应用。
在IC测试包括晶圆测试、成品测试,以及少部分的老化测试与手工测试。要测试IC的好坏,即是否符合产品的设计指标,就需要用到各种检测仪器,如电源、逻辑波形发生/接i收器、信号发生器、示波器,甚至频谱分析仪等等。自动测试设备ATE的另一个要素就是仪器的指标是否能够符合被测IC的要求,尤其对于***i新的半导体产品而言,相对地对自动测试系统ATE指标的要求也越趋严格。
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