微麦光电-光刻板

光刻机可以说每个部件都是科技含量很高，步步困难重重。

　　瓶颈主要集中在透镜、掩膜版、光源、能量控制器等。

　　下面简单单介绍光刻机的结构和工作原理：

　　光刻机的光源有：激光，光刻板清洗，紫外光、深紫外光、极紫外光。现在***技术是极紫外光。

　　下图是以激光为光源的光刻机简易工作原理图：

　　在制造芯片时，首先在晶圆（硅晶片）表面涂光感胶，光刻板尺寸，再用光线透过掩模版（相当于芯片电路图纸的底片）照射硅片表面，被光线照射到的光感胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射或者未被照射的胶，电路图就印到硅片上。

　　此过程相当于木匠施工用墨斗放样、划线。

掩膜版：通俗点理解，相当于过去用胶片冲洗照片时的底片。底片如果精度不够，是洗不出来高精度照片的。光刻机施工前，光刻板，要根据设计好的芯片电路图制作掩膜板。掩膜板材质是石英玻璃，光刻板，玻璃上有金属铬和感光胶。通过激光在金属铬上绘制电路图。精度要求非常高。

　　透镜：用透镜的光学原理，将掩膜版上的电路图按比例缩小，再用光源映射的硅片上。光在多次投射中会产生光学误差。要控制这个误差。精度要求很高。

　　就是测量台移动的控制器，也是纳米级精度，要求超高。

公司产品包括石英掩膜版，苏打掩膜版，以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图，定制版图，苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务！

菲林在使用中需注意的事项

菲林密度分高密和低密两种。低密是指胶片冲洗后完全未***处的密度，一般在0.05左右。低密值越低越能使胶片清晰通透，晒版网点质量好。高密指胶片经100%***处冲洗后的实地密度。一般铜版纸印刷所用的晒版菲林要求高密值不低于3.5，通常在3.5～4.5，这样可以保证菲林上的图像信息在晒版时很好地转移到印版上。新闻纸和胶版纸印刷(含地图纸)时，因纸张吸墨性特强和印速高等原因，其高密可适当降低。