| ZL850型多晶铸锭炉技术指标 | |
| 硅锭尺寸 | 996mm×996mm×370mm |
| 生产率 | 750kg～850kg/炉(480/540坩锅) |
| 生产周期 | 800kg锭～74hr,产能～9.5MW/年 |
| ***高温度 | 1600℃ |
| 常用工作温度 | 1560℃ |
| 硅锭生长速率 | 1～2cm/hr |
| 炉内极限真空度 | 1Pa |
| 系统漏率 | <0.0075Pa.m3/s |
| ***气 | ～110m3/锭 |
| 冷却水 | 约140L/min |
| 额定加热功率 | 165kW |
| 每炉加热器功耗 | ～4400度（投料800kg） |
| 其他能耗 | ～650度 |
| 单位能耗 | ～6.8度/kg |
| 铸锭良率 | 平均大于70%（正常配料） |
| 转换效率 | 16.8%-17.2% |
| ZL1２00型双区控温多晶铸锭炉技术指标 | |
| 硅锭尺寸 | 996mm×996mm×535mm |
| 生产率 | 1000kg～1200kg/炉(560/600坩锅) |
| 生产周期 | 1000kg锭～80hr,产能～11.5MW/年 |
| ***高温度 | 1600℃ |
| 常用工作温度 | 1560℃ |
| 硅锭生长速率 | 1～2cm/hr |
| 炉内极限真空度 | 1Pa |
| 系统漏率 | <0.0075Pa.m3/s |
| ***气 | ～130m3/锭 |
| 冷却水 | 约140L/min |
| 控温点数量 | 顶部、侧面分区控温（2个控温点） |
| 额定加热功率 | 200kW |
| 每炉加热器功耗 | ～5000度（投料1000kg） |
| 长晶控制辅助 | 气冷辅助成核装置（选配） |
| 其他能耗 | ～800度 |
| 单位能耗 | ～5.8度/kg |
| 铸锭良率 | 平均大于72%（正常配料） |
| 转换效率 | 16.8%-17.2% |