立式减薄机IVG-200S
设备概述:
名称: 立式减薄机
型号: IVG-200S
该设备采用立式主轴结构,工作时磨盘与工件盘同时旋转,韩国减薄机,磨盘的进给采用微米步进电机进给系统,磨盘采用杯式金刚石磨盘,不但加工精度高,而且加工效率很高,为普通研磨效率的10倍以上。该系列设备广泛应用各类半导体晶片、压电晶体、光学玻璃、陶瓷、蓝宝石衬底、FDD表面、电子过滤器、碳化硅等材料的超精密平面加工。





立式减薄机IVG-200S设备结构
1.构成
1)磨盘主轴系统
2)工件盘主轴系统
3)进给系统
4)控制系统
5)辅助设备
2。规格
1)砂轮尺寸:(O.D)200mm×(X)7mm×(T)5mm
2)加工尺寸:较大Φ250mm
3)速度和功率:
砂轮:3,000rpm(无级可调) 3.0kW AC伺服电机
工件:200rpm (无级可调) 0.75kW 齿轮电机
4)分辨度:0.001mm
5)精度:±0.002mm
6)重复度:0.001mm
7)研磨范围:200mm
8)进给率:0.1μm-1000μm/sec
减薄机的介绍
相信对设备有-定了解的朋友都知道“减薄机”是比较适用于工件硬度相对较高、厚度超薄且加工精度要求高的产品。例如像LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各类材质的工件高速减薄。其主要的工作原理是由真空主轴吸附于工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。这种工作原理不但可以做到减小磨削阻力,让工件不易破损, 同时还可以提高生产效率。
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