洁净室的使用
空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
无尘车间可以分为以下几个级别:
1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的***要求为亚微米。
10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级很多人认为,这一级无尘车间是***常用因而是***重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,******,包括移植***,集成器的制造,那些对******特别敏感的***的隔离***,比如像***移植***术后的隔离***。
1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的
制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
无尘车间净化工程
净化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→***净化风口→吹入房间→带走尘埃***
等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动&plu***n;2℃。
温度45-65%;GMP***车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
洁净室等级标准(国内和国外标准对比)
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级
ISO分级大于等于表中所列粒径悬浮粒子***大允许浓度(颗/m3)
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISO1级10 2
ISO2级100 24 10 4
ISO3级1000 237 102 35 8
ISO4级10000 2370 1020 352 83
ISO5级100000 23700 10200 3520 832 29
ISO6级1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO7级 352000 83200 2930
ISO8级 3520000 832000 29300
ISO9级 35200000 8320000 293000
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