1 基本介绍
无尘室,亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘室
无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的***影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的***。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于***,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
2 控管项目
⒈ 能除去空气中飘游之微尘粒子。⒉ 能防止微尘粒子之产生。
⒊ 温度和湿度之控制。⒋ 压力之调节。⒌ ***气体之排除。
⒍ 结构物与隔间之气密性。⒎ 静电之防制。⒏ 电磁干扰预防。
⒐ 安全因素之考虑。⒑ 节能之考量。⒒照度的的调节
⒓浮游菌及沉降菌的控制
3 车间特性
(l)耐久性;⑵成本; ⑶适应性; ⑷可维护性;⑸清洗。
耐久性
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs 倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。
清洗
在制药和生物工学工业,无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过污染之特性。清洗真正地是一个***重要的企业。
⑴洁净隧道:以过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为***适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室:将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较***之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
相关概念
⑴、自净时间:是指无尘室按设计换气次数开始送风到无尘室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
⑵、换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素,一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可***此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以***适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
10 标准规范
⑴.洁净厂房设计规范 G***073-2001
⑵.***洁净***部建筑技术规范G***333-2002
⑶.医药工业洁净厂房设计规范GB 50457-2008
⑷.***病***建筑设计规范
⑸.医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法GB/T16292-1996
⑹.sc认证质量手册
⑺.GMP ***生产质量管理规范
⑻. 洁净室施工及验收规范GB 5091-2010
12 净化新风
无尘室设计规范规定每人每小时不得低于40立方米。空调工程特别是空调净化工程由于回风量较大,新风按比例设计加入是很有必要的。
室外新风与洁净空气的比较: 对于洁净室来说加入新风就等于在系统上加入了一个主要的污染源。室外的脏空气浓度可以多达每升30多万颗尘埃,而对于10万级洁净室来说,浓度每升为3500颗尘埃,室外较脏时的浓度是10万级洁净室内浓度的100多倍,而对于万级洁净室来说,更高达1000多倍。如果在闹市的白天,室外的浓度还要高,这么多的尘埃对***空气过滤器的负担太大。大大降低了***过滤器的使用寿命,而且影响着洁净室的洁净效果。特别是不经过过滤的新风对表冷器的危害就更为严重,通常表冷器的前面只有一道粗效过滤器,而新风浓度较大,对于粗效过滤不掉的小颗粒尘埃使表冷器堵死后,表冷器的传热系数会降低,而且***的化学颗粒对表冷器具有腐蚀性。大量的***又在其附近繁殖,因此新风过滤对整个空调系统都非常有必要。
净化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→***净化风口→吹入房间→带走尘埃***
等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动&plu***n;2℃。
温度45-65%;GMP***车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
洁净室控制微粒污染的主要途径:
1.控制污染源,减少污染发生量;2.迅速有效地排除室内已经发生的污染;3.有效地阻止室外的污染***。(或有效地防止室内污染逸至室外)流体力学的概念:1.稳定流与不稳定流(按照运动要素流速、加速度等有无时间因素)2.渐变流(流线之间基本是等距的,流线接近直线)与突变流(按照流线形状)渐变流中包含有均匀(渐变流的极限情况)与非均匀流3.层流与紊流(按照有无质点交换)
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