島津エミット株式会社 油移送ギヤポンプ SC80S-112 65A
SHIMADZU EMIT CO.,LTD.油回転真空ポンプ 千川李小姐13 451937379
■エコロジー真空ポンプ李经理134 5193-7379
★ご好評につき、キャンペーン延長決定！！李经理134 5193-7379
キャンペーン期間：2012年5月21日～2012年11月20日
? 必要な圧力に応じて周波数を可変することにより、電力消費量を最大65％以上削減可能です。（当社比）
? 真空レベル?消費電力をリアルタイムにモニタ可能です。
? 基本タイプのE型のほかに、差圧式油水分離機を内蔵したＷ型、バイオオイルで作動できるB型の3機種があります。
千川李经理1345193 7379
仕様 外形図千川李经理1345193 7379
★ご好評につき、キャンペーン延長決定！！李经理134 5193-7379
キャンペーン期間：2012年5月21日～2012年11月20日
? 必要な圧力に応じて周波数を可変することにより、電力消費量を最大65％以上削減可能です。（当社比）
? 真空レベル?消費電力をリアルタイムにモニタ可能です。
? 基本タイプのE型のほかに、差圧式油水分離機を内蔵したＷ型、バイオオイルで作動できるB型の3機種があります。
千川李经理1345193 7379
仕様 外形図千川李经理1345193 7379
Smart3
キャンペーンカタログ
（※こちらのキャンペーンは11月20日まで延長になりました。）
カタログダウンロード 直线：13451 937379 李经-理
SMC-362形 E 排気速度(60Hz/50Hz)360L/min、到達圧力 6.7×10-2Pa直线：13451 937379 李经-理
W 排気速度(60Hz/50Hz)360L/min、到達圧力 6.7×10-2～300Pa
B 排気速度(60Hz/50Hz)360L/min、到達圧力 3.0Pa
SMC-1302形 E 排気速度(60Hz/50Hz)1300L/min、到達圧力 6.7×10-2Pa
W 排気速度(60Hz/50Hz)1300L/min、到達圧力 6.7×10-2～300Pa手机 13 451937379千川李小姐
B 排気速度(60Hz/50Hz)1300L/min、到達圧力 3.0Pa手机 13 451937379千川李小姐
キャンペーンカタログ
（※こちらのキャンペーンは11月20日まで延長になりました。）
カタログダウンロード 直线：13451 937379 李经-理
SMC-362形 E 排気速度(60Hz/50Hz)360L/min、到達圧力 6.7×10-2Pa直线：13451 937379 李经-理
W 排気速度(60Hz/50Hz)360L/min、到達圧力 6.7×10-2～300Pa
B 排気速度(60Hz/50Hz)360L/min、到達圧力 3.0Pa
SMC-1302形 E 排気速度(60Hz/50Hz)1300L/min、到達圧力 6.7×10-2Pa
W 排気速度(60Hz/50Hz)1300L/min、到達圧力 6.7×10-2～300Pa手机 13 451937379千川李小姐
B 排気速度(60Hz/50Hz)1300L/min、到達圧力 3.0Pa手机 13 451937379千川李小姐
■電動機直結型油回転真空ポンプ
? 強制給油ポンプを内蔵していますので、内部潤滑が円滑に行え、性能が常に安定しています。
? 騒音?振動が極めて小さくなっています。
? 油逆流防止機構により、不慮の停電時でも油の逆流を保持できます。(16時間程度)
? 油潤滑装置配管取付ポート?希釈用N２ガスパージポートを設けています。
13451*3737*9
仕様 外形図13451*3737*9
GDH162～GDH1302
GDH-162形 排気速度(60Hz/50Hz）160/135 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa
GDH-362形 排気速度(60Hz/50Hz）360/300 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa
GDH-802形 排気速度(60Hz/50Hz）800/660 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa
GDH-1302形 排気速度(60Hz/50Hz）1300/1080 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa李经理1345-1937379
李经理1345-1937379
GDH-162形 排気速度(60Hz/50Hz）160/135 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa
GDH-362形 排気速度(60Hz/50Hz）360/300 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa
GDH-802形 排気速度(60Hz/50Hz）800/660 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa
GDH-1302形 排気速度(60Hz/50Hz）1300/1080 L/min、到達圧力6.7×10-2Pa李经理1345-1937379
李经理1345-1937379
■小型油回転真空ポンプ
? 焼き付き防止のため、ねじポンプの原理を応用した強制給油構造としています。
? とくに騒音?振動を避けたい場合に、防音?防振形の-4形?-5形を用意しています。
13451937-379
仕様 外形図13451937-379
? 焼き付き防止のため、ねじポンプの原理を応用した強制給油構造としています。
? とくに騒音?振動を避けたい場合に、防音?防振形の-4形?-5形を用意しています。
13451937-379
仕様 外形図13451937-379
? とくに耐腐食性を考慮したポンプとして、ポンプ内部に特殊処理を施したS-51形を用意しています。油量を多くし、水分混入時の圧力上昇を緩和させています。南京 1345193-7379
南京 1345193-7379
SA-18形 排気速度(60Hz/50Hz) 18/ 15 L/min、到達圧力 1 Paオーダ
S-51形 排気速度(60Hz/50Hz) 50/ 40 L/min、到達圧力 1 Paオーダ
D-50形 排気速度(60Hz/50Hz) 50/ 40 L/min、到達圧力10-2Paオーダ
D-150形 排気速度(60Hz/50Hz) 150/125 L/min、到達圧力10-2Paオーダ
川李经理025-8465 9345
川李经理025-8465 9345
■中型、大型油回転真空ポンプ
? 3000 L/minまでは、すべて空冷式であり、運転コストの経済性と取扱の簡素化をはかっています。
? 使用圧力の比較的高い場合や、水蒸気などの凝縮性ガスを含む排気の場合など、過酷な条件に対して特殊対策形を各種用意しています。
仕様 外形図
KD-300形 排気速度(60Hz/50Hz) 300/ 250 L/min、到達圧力10-2Paオーダ
KSL-650形 排気速度(60Hz/50Hz) 650/ 540 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
KSL-1500形 排気速度(60Hz/50Hz) 1500/1250 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
KPL-3000形 排気速度(60Hz/50Hz) 3000/2500 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
KP-6500形 排気速度(60Hz/50Hz) 6500/5400 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
KD-300形 排気速度(60Hz/50Hz) 300/ 250 L/min、到達圧力10-2Paオーダ
KSL-650形 排気速度(60Hz/50Hz) 650/ 540 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
KSL-1500形 排気速度(60Hz/50Hz) 1500/1250 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
KPL-3000形 排気速度(60Hz/50Hz) 3000/2500 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
KP-6500形 排気速度(60Hz/50Hz) 6500/5400 L/min、到達圧力10-1Paオーダ
メカニカルブースタポンプ(ルーツポンプ) 1345 1937-379千川
1345 1937-379千川
? 電動機直結形としていますので、小形で大容量の排気速度をもっています。
? 小形から大形にいたるまですべて空冷式として運転コストの経済性と取扱の簡素化をはかっています。
? たて?よこ任意に吸?排気口を向けることができます。
? 軸受部および歯車室内の脱気を別のポンプで行えば、凝縮性ガスの吸引に対しても安定して使用することができます。南京-千川李-经理13451937-379
? 高度な総合工作技術を結実し、静かで長寿命です。 南京-千川李-经理13451937-379
? 高速回転2Pモータを使用したMBH－□シリーズも用意しています。
1345 1937-379千川
? 電動機直結形としていますので、小形で大容量の排気速度をもっています。
? 小形から大形にいたるまですべて空冷式として運転コストの経済性と取扱の簡素化をはかっています。
? たて?よこ任意に吸?排気口を向けることができます。
? 軸受部および歯車室内の脱気を別のポンプで行えば、凝縮性ガスの吸引に対しても安定して使用することができます。南京-千川李-经理13451937-379
? 高度な総合工作技術を結実し、静かで長寿命です。 南京-千川李-经理13451937-379
? 高速回転2Pモータを使用したMBH－□シリーズも用意しています。
? 大気圧から駆動可能なインバータ搭載タイプも用意しております。南京千川李经理热线：025-846 59345
カタログ南京千川李经理热线：025-846 59345
カタログ南京千川李经理热线：025-846 59345
MBH-600FV
李经-理13451 937379
MBH-600Fi李经-理13451 937379
MBH-600Fi李经-理13451 937379
仕様
形 名 推 奨
補助ポンプ千-川 1345-193737-9
形 名 千-川 1345-193737-9
6.7Paでの排気速度l/min
到達圧力Paオーダ
使用電動機
三相200V※1
油量
l ポンプ本体
フランジ 南京千川李小姐134519373 79
60Hz 50Hz kW P V形 H形 吸気口 排気口南京千川李小姐134519373 79
MB-30 D-150
KD-300 520134-5 1937379
640 430134-5 1937379
530 10-2 0.2 4 0.1 0.07 VG50
MB-100F KD-300 1500
1250 0.75 0.47 0.43 VG80
MB-300F KD-300南京-千川李-经理13451937-379
KSL-650南京-千川李-经理13451937-379
KSL-1500 3800
4300
4900热线：134 5193-7379李经理
3100热线：134 5193-7379李经理
3500
4100
1.5 0.7 0.4 VG125
MB-600F KSL-650
KSL-15001345 193-7379
KPL-3000 88001345 193-7379
10000
12000 7300
8300
10000 2.2 1.2 0.7 VG150
MB-1400F KSL-1500
KPL-3000南京 1345193-7379
KP-6500 18000134519-37 379
20500134519-37 379
23000 15000
17000
19000 3.7 1.4 0.9 VG200
MB-3000 KP-6500 45000 37000 7.5 2.3 1.2 VG250李经理1345-1937379
MBH-60 D-150李经理1345-1937379
KD-300 960
1100 800千川李经理1345193 7379
910 0.4 2 0.1 0.07 VG50千川李经理1345193 7379
MBH-200F KD-300
KSL-650 2500南京千川李-小姐13451-937379
3200 2000南京千川李-小姐13451-937379
2600 1.5 0.47 0.43 VG801345 19-37379
MBH-600F KSL-6501345 19-37379
KSL-1500
KPL-3000 8000
9500
11000 6600千川李经理1345193 7379
7600千川李经理1345193 7379
9100 2.2 0.7 0.4 VG125
MBH-1200F KP-6500 20000 16700 3.7 1.2 0.7 VG150
形 名 推 奨
補助ポンプ千-川 1345-193737-9
形 名 千-川 1345-193737-9
6.7Paでの排気速度l/min
到達圧力Paオーダ
使用電動機
三相200V※1
油量
l ポンプ本体
フランジ 南京千川李小姐134519373 79
60Hz 50Hz kW P V形 H形 吸気口 排気口南京千川李小姐134519373 79
MB-30 D-150
KD-300 520134-5 1937379
640 430134-5 1937379
530 10-2 0.2 4 0.1 0.07 VG50
MB-100F KD-300 1500
1250 0.75 0.47 0.43 VG80
MB-300F KD-300南京-千川李-经理13451937-379
KSL-650南京-千川李-经理13451937-379
KSL-1500 3800
4300
4900热线：134 5193-7379李经理
3100热线：134 5193-7379李经理
3500
4100
1.5 0.7 0.4 VG125
MB-600F KSL-650
KSL-15001345 193-7379
KPL-3000 88001345 193-7379
10000
12000 7300
8300
10000 2.2 1.2 0.7 VG150
MB-1400F KSL-1500
KPL-3000南京 1345193-7379
KP-6500 18000134519-37 379
20500134519-37 379
23000 15000
17000
19000 3.7 1.4 0.9 VG200
MB-3000 KP-6500 45000 37000 7.5 2.3 1.2 VG250李经理1345-1937379
MBH-60 D-150李经理1345-1937379
KD-300 960
1100 800千川李经理1345193 7379
910 0.4 2 0.1 0.07 VG50千川李经理1345193 7379
MBH-200F KD-300
KSL-650 2500南京千川李-小姐13451-937379
3200 2000南京千川李-小姐13451-937379
2600 1.5 0.47 0.43 VG801345 19-37379
MBH-600F KSL-6501345 19-37379
KSL-1500
KPL-3000 8000
9500
11000 6600千川李经理1345193 7379
7600千川李经理1345193 7379
9100 2.2 0.7 0.4 VG125
MBH-1200F KP-6500 20000 16700 3.7 1.2 0.7 VG150
※1 異電圧?特殊モータの対応も可能です。
南京 13451-937 379
形式と構成南京 13451-937 379
4Pモータ直結形 MB-□形 MB-□H形 MB-□V形
4Pフランジモータ直結形 MB-□F形 MB-□FH形 MB-□FV形热线：134 5193-7379李经理
2Pフランジモータ直結形 MBH-□F形 MBH-□FH形 MBH-□FV形热线：134 5193-7379李经理
形式と構成南京 13451-937 379
4Pモータ直結形 MB-□形 MB-□H形 MB-□V形
4Pフランジモータ直結形 MB-□F形 MB-□FH形 MB-□FV形热线：134 5193-7379李经理
2Pフランジモータ直結形 MBH-□F形 MBH-□FH形 MBH-□FV形热线：134 5193-7379李经理
ヘリウムリークディテクタ
■全自動据置形ヘリウムリークディテクタ MSE-3200R形（島津製作所製）南京千川李小姐134519373 79
大容量粗引ポンプを搭載した汎用型の本格的生産ライン検査機です。南京千川李小姐134519373 79
リークディテクタ専用モレキュラードラッグポンプと高性能分析管により、高感度?低バックグラウンドでありながら"優れたバックグラウンド回復性能"を有し、繰り返し試験、大型ワークの試験に威力を発揮します。
データロギングソフトにより最長24時間の連続データ収集と、パソコンからのリモート操作が可能です。
分析管フィラメントは長寿命のトリアコートイリジウムフィラメントを2本装備しています。
形名 MSE-3200R南京千川李-经理025-84659 345
検出感度 10-12～100Pa?m3/s[He]南京千川李-经理025-84659 345
分析管 180°磁場偏向形（磁束密度0.17T）
トリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)南京 13451-937 379
温度補正付自動チューニング感度校正南京 13451-937 379
真空系 リークディテクタ専用モレキュラードラックポンプ
リークディテクタ専用油回転真空ポンプ
大容量油回転真空ポンプ
ピラニ真空系（2系統）
テストポート 最大圧力 1000Pa
接続口 NW25KF
電源 3相AC200V±10％、50/60Hz
重量 本体 約170Kg南京千川 1345193737 9
入出力 レコーダ出力南京千川 1345193737 9
DC0～1.0V（指数部）
DC0～1.2V（仮数部）京千川李经理134519373-79
スニファーユニット京千川李经理134519373-79
RS-232Cインタフェース
プリンタインタフェース（セントロニクス）
大容量粗引ポンプを搭載した汎用型の本格的生産ライン検査機です。南京千川李小姐134519373 79
リークディテクタ専用モレキュラードラッグポンプと高性能分析管により、高感度?低バックグラウンドでありながら"優れたバックグラウンド回復性能"を有し、繰り返し試験、大型ワークの試験に威力を発揮します。
データロギングソフトにより最長24時間の連続データ収集と、パソコンからのリモート操作が可能です。
分析管フィラメントは長寿命のトリアコートイリジウムフィラメントを2本装備しています。
形名 MSE-3200R南京千川李-经理025-84659 345
検出感度 10-12～100Pa?m3/s[He]南京千川李-经理025-84659 345
分析管 180°磁場偏向形（磁束密度0.17T）
トリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)南京 13451-937 379
温度補正付自動チューニング感度校正南京 13451-937 379
真空系 リークディテクタ専用モレキュラードラックポンプ
リークディテクタ専用油回転真空ポンプ
大容量油回転真空ポンプ
ピラニ真空系（2系統）
テストポート 最大圧力 1000Pa
接続口 NW25KF
電源 3相AC200V±10％、50/60Hz
重量 本体 約170Kg南京千川 1345193737 9
入出力 レコーダ出力南京千川 1345193737 9
DC0～1.0V（指数部）
DC0～1.2V（仮数部）京千川李经理134519373-79
スニファーユニット京千川李经理134519373-79
RS-232Cインタフェース
プリンタインタフェース（セントロニクス）
■電子デバイス専用ヘリウムリークディテクタ MSE-4200R形(島津製作所製)
ボンビング法による各種半導体?電子デバイスパッケージ専用のライン検査機です。
300ｃｃの大容量テストチャンバーを有しつつも、実リーク値測定にて業界最速クラスの6秒台を実現しました。
業界初のバックグラウンド2.5×10-10Pa?m3/s[He]を保証(乾燥窒素ベント時)。
高感度試験(10-12Pa?m3/sオーダー)にも対応できます。
分析管フィラメントは長寿命のトリアコートイリジウムフィラメントを2本装備し、デジタル音源を用いた様々な音色によるオーディオアラーム機能を搭載しています。
形名 MSE-4200R
検出感度 10-12～100Pa?m3/s[He]
合否判定リーク量 2.5×10-10Pa?m3/s[He]南京-千川李-经理13451937-379
タクトタイム 6秒台（乾燥窒素ベント時）南京-千川李-经理13451937-379
分析管 180°磁場偏向形（磁束密度0.17T）
トリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)
温度補正付自動チューニング感度校正
真空系 リークディテクタ専用モレキュラードラックポンプ
リークディテクタ専用油回転真空ポンプ
大容量油回転真空ポンプ
ピラニ真空系（2系統）
電源 3相AC200V±10％、50/60Hz
重量 本体 約170Kg南京千川李-小姐13451-937379
入出力 レコーダ出力南京千川李-小姐13451-937379
DC0～1.0V（指数部）
DC0～1.2V（仮数部）
スニファーユニット
RS-232Cインタフェース
プリンタインタフェース（セントロニクス）
手 机: 13451937379李小姐
■全自動可搬形ヘリウムリークディテクタ MSE-2000R形(島津製作所製)手 机: 13451937379李小姐
単体での試験から自動機への組込、各種真空装置のメンテナンス用途まで幅広く使える可搬形の汎用機です。
リークディテクタ専用モレキュラードラッグポンプと高性能分析管により、高感度?低バックグラウンドでありながら"優れたバックグラウンド回復性能"を有します。
データロギングソフトにより最長24時間の連続データ収集と、パソコンからのリモート操作が可能です。手机：13451-937379 南京千川李-小姐
分析管フィラメントは長寿命のトリアコートイリジウムフィラメントを2本装備しています。手机：13451-937379 南京千川李-小姐
■全自動可搬形ヘリウムリークディテクタ MSE-2000R形(島津製作所製)手 机: 13451937379李小姐
単体での試験から自動機への組込、各種真空装置のメンテナンス用途まで幅広く使える可搬形の汎用機です。
リークディテクタ専用モレキュラードラッグポンプと高性能分析管により、高感度?低バックグラウンドでありながら"優れたバックグラウンド回復性能"を有します。
データロギングソフトにより最長24時間の連続データ収集と、パソコンからのリモート操作が可能です。手机：13451-937379 南京千川李-小姐
分析管フィラメントは長寿命のトリアコートイリジウムフィラメントを2本装備しています。手机：13451-937379 南京千川李-小姐
※また粗引にダイヤフラムポンプ型のドライポンプを採用した、MSE-2000R DRYもございます。
形名 MSE-2000R千川李小姐13 451937379
検出感度 10-12～100Pa?m3/s[He]千川李小姐13 451937379
分析管 180°磁場偏向形（磁束密度0.17T）
トリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)
温度補正付自動チューニング感度校正
真空系 リークディテクタ専用モレキュラードラックポンプ
リークディテクタ専用ロータリーポンプ南京千川134519 373-79
ピラニ真空系（2系統）南京千川134519 373-79
テストポート 最大圧力 1000Pa
接続口 NW25KF
電源 AC100/110/115/120/200/220/230/240V
±10％、50/60Hz、0.6ｋVA
のいずれかをオーダ時に一つ指定千川李小姐13 451937379
重量 本体 約45Kg千川李小姐13 451937379
入出力 レコーダ出力
DC0～1.0V（指数部）李经理134 5193-7379
DC0～1.2V（仮数部）李经理134 5193-7379
RS-232Cインタフェース
プリンタインタフェース（セントロニクス）
EXT-UNITインターフェイス（外部ユニット）
形名 MSE-2000R千川李小姐13 451937379
検出感度 10-12～100Pa?m3/s[He]千川李小姐13 451937379
分析管 180°磁場偏向形（磁束密度0.17T）
トリアコートイリジウムフィラメント(2本内蔵)
温度補正付自動チューニング感度校正
真空系 リークディテクタ専用モレキュラードラックポンプ
リークディテクタ専用ロータリーポンプ南京千川134519 373-79
ピラニ真空系（2系統）南京千川134519 373-79
テストポート 最大圧力 1000Pa
接続口 NW25KF
電源 AC100/110/115/120/200/220/230/240V
±10％、50/60Hz、0.6ｋVA
のいずれかをオーダ時に一つ指定千川李小姐13 451937379
重量 本体 約45Kg千川李小姐13 451937379
入出力 レコーダ出力
DC0～1.0V（指数部）李经理134 5193-7379
DC0～1.2V（仮数部）李经理134 5193-7379
RS-232Cインタフェース
プリンタインタフェース（セントロニクス）
EXT-UNITインターフェイス（外部ユニット）
ターボ分子ポンプ 千川李经理1345193 7379
千川李经理1345193 7379
■磁気軸受形ターボ分子ポンプ(島津製作所製)
5軸制御形磁気軸受によって浮上回転させるポンプです。そのため、油潤滑機構が不要で、完全なオイルフリーを実現し、軸受寿命が理論上無限です。また一部機種を除き10-9 Paの到達圧力を達成しました。しかも低振動で、全方位への取付けも可能です。
空冷形
形名 TMP-203M TMP-303M TMP-403M TMP-803M TMP-1003M TMP-1503M TMP-2003M TMP-3203M
排気速L/s(N2) 190 320 420 800 1080 1500 2000 3200直线：13451 937379 李经-理
最大吸気口圧力直线：13451 937379 李经-理
(Pa) 1.3 0.4
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa) 10-8 10-9 10-8 10-9手机 13 451937379千川李小姐
手机 13 451937379千川李小姐
広域形
形名 TMP-203LM TMP-303LM TMP-403LM TMP-803LM TMP-1003LM TMP-1503LM TMP-2003LM TMP-3203LM
排気速L/s(N2) 190 320 420 800 1080 1500 2000 3200
最大吸気口圧力
(Pa) 200 400 133 67 40
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa) 10-8 10-9 10-8 10-9南京千川134519 373-79
南京千川134519 373-79
千川李经理1345193 7379
■磁気軸受形ターボ分子ポンプ(島津製作所製)
5軸制御形磁気軸受によって浮上回転させるポンプです。そのため、油潤滑機構が不要で、完全なオイルフリーを実現し、軸受寿命が理論上無限です。また一部機種を除き10-9 Paの到達圧力を達成しました。しかも低振動で、全方位への取付けも可能です。
空冷形
形名 TMP-203M TMP-303M TMP-403M TMP-803M TMP-1003M TMP-1503M TMP-2003M TMP-3203M
排気速L/s(N2) 190 320 420 800 1080 1500 2000 3200直线：13451 937379 李经-理
最大吸気口圧力直线：13451 937379 李经-理
(Pa) 1.3 0.4
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa) 10-8 10-9 10-8 10-9手机 13 451937379千川李小姐
手机 13 451937379千川李小姐
広域形
形名 TMP-203LM TMP-303LM TMP-403LM TMP-803LM TMP-1003LM TMP-1503LM TMP-2003LM TMP-3203LM
排気速L/s(N2) 190 320 420 800 1080 1500 2000 3200
最大吸気口圧力
(Pa) 200 400 133 67 40
到達圧力
(ベーキング後)
(Pa) 10-8 10-9 10-8 10-9南京千川134519 373-79
南京千川134519 373-79
■大流量排気ターボ分子ポンプシリーズ TMP大流量シリーズ
微細化する半導体や、基板が大形化するFPD製造工程(エッチング、CVD)に最適な広域形流量ターボ分子ポンプです。
形名 TMP-1303LMC TMP-2203LMC TMP-3403LMC TMP-4203LMC
到達圧力(ベーキング後)
(Paオーダ) 10-7李经理1345-1937379
Arガスの最大流量(sccm) 2000 2200李经理1345-1937379
最大吸気口圧力(Pa) 133 40 10
排気速度(L/s) N2
H2
1300
750 2140
1350 3300
2400 4000
2800
質量(kg) 34 55 70 100南京 1345193-7379
南京 1345193-7379
微細化する半導体や、基板が大形化するFPD製造工程(エッチング、CVD)に最適な広域形流量ターボ分子ポンプです。
形名 TMP-1303LMC TMP-2203LMC TMP-3403LMC TMP-4203LMC
到達圧力(ベーキング後)
(Paオーダ) 10-7李经理1345-1937379
Arガスの最大流量(sccm) 2000 2200李经理1345-1937379
最大吸気口圧力(Pa) 133 40 10
排気速度(L/s) N2
H2
1300
750 2140
1350 3300
2400 4000
2800
質量(kg) 34 55 70 100南京 1345193-7379
南京 1345193-7379
■磁気軸受形高圧縮比ターポ分子ポンプ TMP-1103MP/LMP
TMP-1103シリーズは水素ガスに対して高い圧縮比を有しており、残留ガス中の水素分圧が特に問題視されるスパッタプロセスに有効です。
形名 TMP-1103MP TMP-1103LMP
冷却方法 空冷 水冷
到達圧力(ベーキング後) (Paオーダ) 10-9 10-9川李经理025-8465 9345
連続運転時の最大排気口圧力(Pa) 1.3 70川李经理025-8465 9345
連続運転時の最大排気口圧力(Pa) 270 800
排気速度(L/s) N2
H2
1080
800
圧縮比(L/s) N2
H2
109
108
TMP-1103シリーズは水素ガスに対して高い圧縮比を有しており、残留ガス中の水素分圧が特に問題視されるスパッタプロセスに有効です。
形名 TMP-1103MP TMP-1103LMP
冷却方法 空冷 水冷
到達圧力(ベーキング後) (Paオーダ) 10-9 10-9川李经理025-8465 9345
連続運転時の最大排気口圧力(Pa) 1.3 70川李经理025-8465 9345
連続運転時の最大排気口圧力(Pa) 270 800
排気速度(L/s) N2
H2
1080
800
圧縮比(L/s) N2
H2
109
108
制御機器 商品一覧
1345 1937-379千川
大形電動アクチュエータ1345 1937-379千川
新開発のダイナミックアクチュエータは、駆動機構に減速機?クラッチ?オイルバス?スイッチ機構の無い画期的な構造の電動アクチュエータです。
高頻度?高精度?高速?長寿命を必要とする制御系に最適です。
?汎用ダイナミックアクチュエータ?南京-千川李-经理13451937-379
南京-千川李-经理13451937-379
EF-40,80 EF-160 EF-320
1345 1937-379千川
大形電動アクチュエータ1345 1937-379千川
新開発のダイナミックアクチュエータは、駆動機構に減速機?クラッチ?オイルバス?スイッチ機構の無い画期的な構造の電動アクチュエータです。
高頻度?高精度?高速?長寿命を必要とする制御系に最適です。
?汎用ダイナミックアクチュエータ?南京-千川李-经理13451937-379
南京-千川李-经理13451937-379
EF-40,80 EF-160 EF-320
?ダイナミックアクチュエータ?南京千川李经理热线：025-846 59345
南京千川李经理热线：025-846 59345
ＥＤシリーズ 制御盤
南京千川李经理热线：025-846 59345
ＥＤシリーズ 制御盤
小形電動バルブアクチュエータ李经-理13451 937379
グローブ弁、ゲート弁など往復動用のD-5B、バタフライ弁、ボール弁など90°回転用のER-Aをベースに豊富なオプションにより広範囲な仕様にお答えします。李经-理13451 937379
ER-A D-5B
千-川 1345-193737-9
ＤＣ駆動小形バルブアクチュエータ千-川 1345-193737-9
ＥＲシリーズのコンパクト?安価?堅牢に加え、直流電源駆動のアクチュエータを提供します。
停電時?地震発生時の緊急遮断や消防車など車載用のバタ弁、ボール弁に適用されます。
ER-05D ER-05DS
ＤＣ駆動小形バルブアクチュエータ千-川 1345-193737-9
ＥＲシリーズのコンパクト?安価?堅牢に加え、直流電源駆動のアクチュエータを提供します。
停電時?地震発生時の緊急遮断や消防車など車載用のバタ弁、ボール弁に適用されます。
ER-05D ER-05DS
防爆形小形電動バルブアクチュエータ南京千川李小姐134519373 79
ＥＲシリーズのコンパクト?安価な防水形に加え、各国の防爆地域に適したアクチュエータを提供します。南京千川李小姐134519373 79
HQシリーズ HQシリーズ千-川 1345-193737-9
（操作ユニット付き）千-川 1345-193737-9
手動弁の電動化工事(レトロフィット)
南京-千川李-经理13451937-379
豊富な経験と実績で中央集中管理による省力化の実現をお手伝いします。南京-千川李-经理13451937-379
溶融プラスチックギヤポンプ （島津メクテム製）
热线：134 5193-7379李经理
■SBJシリーズ热线：134 5193-7379李经理
? SBJシリーズは高温高圧を要求される溶融プラスチックの圧送用として開発されたポンプで数多くの納入実績があり、45㎝3/rev～11,000㎝3/revまで豊富な容量のポンプをそろえています。
热线：134 5193-7379李经理
■SBJシリーズ热线：134 5193-7379李经理
? SBJシリーズは高温高圧を要求される溶融プラスチックの圧送用として開発されたポンプで数多くの納入実績があり、45㎝3/rev～11,000㎝3/revまで豊富な容量のポンプをそろえています。
SBJV 真空槽下部への直接取付形。
大口径なので高粘度液の抜き出しに最適。1345 193-7379
真空から一気に25MPaGまで昇圧1345 193-7379
大口径なので高粘度液の抜き出しに最適。1345 193-7379
真空から一気に25MPaGまで昇圧1345 193-7379
仕様 外形写真
SBJLV SBJVと同形ながら、吐出圧力が7MPaGまでのコンパクトタイプ。
仕様 外形写真
SBJLV SBJVと同形ながら、吐出圧力が7MPaGまでのコンパクトタイプ。
仕様 外形写真
SBJ 低粘度から高粘度まで、広範囲な仕様容量に対応できます。南京 1345193-7379
配管の途中に取り付けられます。134519-37 379南京 1345193-7379
仕様 外形写真134519-37 379
SBJL SBJと同形ながら、吐出圧力が7MPaGまでのコンパクトタイプ。
仕様 外形写真
SBJLL 高い吸入圧力からの定量送りに最適。
吸入圧が1MPaG以上のブースターポンプとして使用されます。李经理1345-1937379
仕様 外形写真李经理1345-1937379
SBJS 真空から2MPaGまでの昇圧用に最適。
仕様 外形写真千川李经理1345193 7379
千川李经理1345193 7379
配管の途中に取り付けられます。134519-37 379南京 1345193-7379
仕様 外形写真134519-37 379
SBJL SBJと同形ながら、吐出圧力が7MPaGまでのコンパクトタイプ。
仕様 外形写真
SBJLL 高い吸入圧力からの定量送りに最適。
吸入圧が1MPaG以上のブースターポンプとして使用されます。李经理1345-1937379
仕様 外形写真李经理1345-1937379
SBJS 真空から2MPaGまでの昇圧用に最適。
仕様 外形写真千川李经理1345193 7379
千川李经理1345193 7379
南京千川李-小姐13451-937379
■SXシリーズ南京千川李-小姐13451-937379
? シマクロイドギヤポンプSXシリーズは機構上ギヤ歯面にスベリが生じませんので、ギヤ材質にオーステナイト系ステンレス鋼を採用し、耐食性に優れています。また吐出脈動や回転脈動が全くありません。1345 19-37379
1345 19-37379
仕様 外形図
■SXシリーズ南京千川李-小姐13451-937379
? シマクロイドギヤポンプSXシリーズは機構上ギヤ歯面にスベリが生じませんので、ギヤ材質にオーステナイト系ステンレス鋼を採用し、耐食性に優れています。また吐出脈動や回転脈動が全くありません。1345 19-37379
1345 19-37379
仕様 外形図
千川李经理1345193 7379
■SBELシリーズ千川李经理1345193 7379
? 圧力変動が少なく、摩擦損失動力が小さいので、ポリマーに与える温度上昇が小さいギヤポンプです。
SBELシリーズは押出製品の品質向上に貢献します。
■SBELシリーズ千川李经理1345193 7379
? 圧力変動が少なく、摩擦損失動力が小さいので、ポリマーに与える温度上昇が小さいギヤポンプです。
SBELシリーズは押出製品の品質向上に貢献します。
仕様 外形図
南京 13451-937 379
小型ケミカルギヤポンプ （島津メクテム製） 南京 13451-937 379
? 島津の豊かな経験と高度な技術を下に開発したきわめて効率の高いギヤポンプです。低粘度から高粘度まで広範囲の液移送が可能で、高真空、高温など厳しい条件下でのプロセス液、ポリマーなどの液体移送に最適です。材質はステンレス製で耐食性に優れ、精密なクリアランスを確保しているので流量の再現性があります。
南京 13451-937 379
小型ケミカルギヤポンプ （島津メクテム製） 南京 13451-937 379
? 島津の豊かな経験と高度な技術を下に開発したきわめて効率の高いギヤポンプです。低粘度から高粘度まで広範囲の液移送が可能で、高真空、高温など厳しい条件下でのプロセス液、ポリマーなどの液体移送に最適です。材質はステンレス製で耐食性に優れ、精密なクリアランスを確保しているので流量の再現性があります。
仕様 外形図热线：134 5193-7379李经理
热线：134 5193-7379李经理
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油移送ギヤポンプ （島津メクテム製）
? 島津SCシリーズはシマクロイドギヤを採用した高効率ギヤポンプです。
? 歯車の摩擦による動力損失が極めて小さく、軸受けにかかる荷重も著しく軽減されています。
? 同一容量の他のポンプに比べ歯車が小さく抑えられるので、より高速回転が可能です。南京千川李小姐134519373 79
? 吐出量の脈動や回転力の脈動が全くありません。南京千川李小姐134519373 79
热线：134 5193-7379李经理
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油移送ギヤポンプ （島津メクテム製）
? 島津SCシリーズはシマクロイドギヤを採用した高効率ギヤポンプです。
? 歯車の摩擦による動力損失が極めて小さく、軸受けにかかる荷重も著しく軽減されています。
? 同一容量の他のポンプに比べ歯車が小さく抑えられるので、より高速回転が可能です。南京千川李小姐134519373 79
? 吐出量の脈動や回転力の脈動が全くありません。南京千川李小姐134519373 79
仕様
南京千川李-经理025-84659 345
A-SCシリーズ（非腐食性液送ポンプ）（島津メクテム製）?南京千川李-经理025-84659 345
従来低騒音、低脈動で定評を得ていたシマクロイドギヤ歯車による液送ポンプを
低コスト＆高パフォーマンス化南京 13451-937 379
南京 13451-937 379
※駆動機付き
注油器（金山精機製作所製）
各種機械の自動化、省力化の要求に応じて、潤滑管理の自動化を目的としたエレメント式注油器です。
油圧機器 商品一覧
南京千川 1345193737 9
油圧歯車ポンプ南京千川 1345193737 9
産業車両、建設機械,自動車?特装車、農業機械等の油圧源として数多く搭載されてる島津製品を取り扱っています。
詳しい製品内容はこちらの島津製作所Webサイトへ京千川李经理134519373-79
京千川李经理134519373-79
パワーパッケージ
島津歯車ポンプYP10シリーズを油圧源に、駆動用モーター?各種バルブ?タンクを組合わせた島津パワーパッケージは、長年の実績が高く評価されています。
詳しい製品内容はこちらの島津製作所Webサイトへ
南京千川 1345193737 9
油圧歯車ポンプ南京千川 1345193737 9
産業車両、建設機械,自動車?特装車、農業機械等の油圧源として数多く搭載されてる島津製品を取り扱っています。
詳しい製品内容はこちらの島津製作所Webサイトへ京千川李经理134519373-79
京千川李经理134519373-79
パワーパッケージ
島津歯車ポンプYP10シリーズを油圧源に、駆動用モーター?各種バルブ?タンクを組合わせた島津パワーパッケージは、長年の実績が高く評価されています。
詳しい製品内容はこちらの島津製作所Webサイトへ
油圧歯車モータ
高圧低速の性能を誇る島津歯車油圧モーターを取り扱っています。
高圧低速の性能を誇る島津歯車油圧モーターを取り扱っています。
油圧歯車ポンプ（単体ポンプ）OEMを含めた受託生産を行っております。 Webからのお問い合わせはこちら
産業車輌（フォークリフト）、建設機械（ショベル、道路機械）、自動車?特装車（トラッククレーン、ゲート車輌、高所作業車）、農業機械（トラクター）等の油圧源として搭載されています。
産業車輌（フォークリフト）、建設機械（ショベル、道路機械）、自動車?特装車（トラッククレーン、ゲート車輌、高所作業車）、農業機械（トラクター）等の油圧源として搭載されています。
押しのけ容積比較表(PDF 33KB)＞＞
南京-千川李-经理13451937-379
■YP10、YP15シリーズ南京-千川李-经理13451937-379
YP10、YP15シリーズは特殊アルミ合金製の2つ割ケーシングで軽量、コンパクトです。斬新な側版シール機構と摩擦抵抗の少ない軸受ブッシュを使用した高効率で耐コンタミ性、耐焼付性に優れたポンプです。
南京-千川李-经理13451937-379
■YP10、YP15シリーズ南京-千川李-经理13451937-379
YP10、YP15シリーズは特殊アルミ合金製の2つ割ケーシングで軽量、コンパクトです。斬新な側版シール機構と摩擦抵抗の少ない軸受ブッシュを使用した高効率で耐コンタミ性、耐焼付性に優れたポンプです。
YP10シリーズ
カタログ （PDF/2.2MB）
YP15シリーズ
南京千川李-小姐13451-937379
カタログ （PDF/2.3MB）南京千川李-小姐13451-937379
■SGP1、SGP2シリーズ
SGP1、SGP2シリーズは高圧用ポンプとして特殊鋳鉄ボディを採用しています。耐サージ圧力、広い温度?回転範囲の過酷な使用条件に耐えます。特に高温低速域でも安定した高性能を維持します。SGP2シリーズはセラミックを利用した特殊シール構造を採用しています。
南京千川李-小姐13451-937379
カタログ （PDF/2.3MB）南京千川李-小姐13451-937379
■SGP1、SGP2シリーズ
SGP1、SGP2シリーズは高圧用ポンプとして特殊鋳鉄ボディを採用しています。耐サージ圧力、広い温度?回転範囲の過酷な使用条件に耐えます。特に高温低速域でも安定した高性能を維持します。SGP2シリーズはセラミックを利用した特殊シール構造を採用しています。
SGP1シリーズ
カタログ （PDF/2.8MB）手 机: 13451937379李小姐
手 机: 13451937379李小姐
SGP2シリーズ
手 机: 13451937379李小姐
SGP2シリーズ
カタログ （PDF/2.8MB）手机：13451-937379 南京千川李-小姐
■SPシリーズ手机：13451-937379 南京千川李-小姐
SPシリーズは特殊歯形の採用と側板、軸受ブッシュの採用により低騒音、高効率のポンプです。19cm3/rev～100cm3/revまで豊富な機種をそろえています。SP30シリーズポンプのボディに特殊鋳鉄を採用したFGP30シリーズもございます。
■SPシリーズ手机：13451-937379 南京千川李-小姐
SPシリーズは特殊歯形の採用と側板、軸受ブッシュの採用により低騒音、高効率のポンプです。19cm3/rev～100cm3/revまで豊富な機種をそろえています。SP30シリーズポンプのボディに特殊鋳鉄を採用したFGP30シリーズもございます。
千川李小姐13 451937379
SP25シリーズ千川李小姐13 451937379
SP25シリーズ千川李小姐13 451937379
カタログ （PDF/2.3MB）
SP30シリーズ
南京千川134519 373-79
カタログ （PDF/2.0MB）南京千川134519 373-79
パワーパッケージOEMを含めた受託生産を行っております。 Webからのお問い合わせはこちら
建設機械（ショベル、道路機械）、自動車?特装車（トラッククレーン、ゲート車輌、高所作業車）、産業機械?装置（リフター等）、農業機械（トラクター）等の油圧源として搭載されています。
南京千川134519 373-79
カタログ （PDF/2.0MB）南京千川134519 373-79
パワーパッケージOEMを含めた受託生産を行っております。 Webからのお問い合わせはこちら
建設機械（ショベル、道路機械）、自動車?特装車（トラッククレーン、ゲート車輌、高所作業車）、産業機械?装置（リフター等）、農業機械（トラクター）等の油圧源として搭載されています。
アプリケーション（例）＞＞
DCパワーパッケージ■DPFシリーズ
電磁弁、電磁スイッチを備え、遠隔操作ができます。また、圧力補償付き戻り流量制御弁を組込んでいますので、負荷の大きさに関係なく、一定の速度で荷を降ろすことができます。単動シリンダー用途に最適です。
電磁弁、電磁スイッチを備え、遠隔操作ができます。また、圧力補償付き戻り流量制御弁を組込んでいますので、負荷の大きさに関係なく、一定の速度で荷を降ろすことができます。単動シリンダー用途に最適です。
カタログ （PDF/842KB）
3位置4方向電磁切換弁を備えたリモコン形パッケージです。複動シリンダー用にご使用いただけます。スロットルチェック弁付きや電磁切換弁2個付きなど、各種特殊品も製作できます。
■DUシリーズ
自動車用バッテリーで駆動できる直流モータ付き歯車ポンプモータユニットです。各種車両用油圧源として手軽にご使用いただけます。
カタログ （PDF/292KB）
■DPJシリーズ
重量2.8kg、最大設定圧力13.7MPa、アタッチメント駆動用に最適な小型油圧源です。
カタログ （PDF/287KB）
ACパワーパッケージ■APFシリーズ
三相交流電動機付き油圧源で、DPFシリーズと同じ油圧回路構成になっています。倉庫用リフトや駐車場設備、車両修理設備など定置式用途に最適です。各種制御弁の搭載もできます。
三相交流電動機付き油圧源で、DPFシリーズと同じ油圧回路構成になっています。倉庫用リフトや駐車場設備、車両修理設備など定置式用途に最適です。各種制御弁の搭載もできます。
カタログ （PDF/489KB）
■AUシリーズ
三相交流電動機とYP10シリーズポンプとを組合わせたモータポンプユニットです。工場設備などに広くご使用いただけます。
カタログ （PDF/286KB）
その他■PPL/PPHシリーズ
PPLシリーズ
エンジンによるベルト掛けまたは汎用電動機とのカップリング接続により駆動できるロータリ式切換弁を内蔵した油圧源です。切換弁には単動シリンダー用、複動シリンダー用、その他の特殊用途用など豊富な種類をそろえています。小形農機をはじめ広い分野でご使用いただけます。
PPLシリーズ
エンジンによるベルト掛けまたは汎用電動機とのカップリング接続により駆動できるロータリ式切換弁を内蔵した油圧源です。切換弁には単動シリンダー用、複動シリンダー用、その他の特殊用途用など豊富な種類をそろえています。小形農機をはじめ広い分野でご使用いただけます。
PPHシリーズ
PPLシリーズと同じ構成で、ケーシング、タンクをひとまわり小さくしたエコノミータイプです。小形農機、建機、除雪機など広い分野でご使用いただけます。
カタログ （PDF/380KB）
千川李小姐13 451937379
GC-13
GC-20
GC-25李经理134 5193-7379
MC 型
KR-S 型
KR 型
HSR-S 型
HSR 型
HSR-D 型千川李经理1345193 7379
KB 型
KB-S 型
KB-J 型
CSB-S 型
CSB 型
KSR-M 型直线：13451 937379 李经-理
KSR 型
KSR-BSM 型
VSR-M 型
VSR 型
VSR-BSM 型手机 13 451937379千川李小姐
HPR-M 型
HP-M 型
HP 型
HP-Tv2型
HP-S2 型
HP-M2 型
HP-JTjv2 型
KH-M 型
KH-Tv2型13451*3737*9
KH 型
KH-S2 型
KH-M2 型
KH-JTjv2 型
OH-MG 型
OH-G 型
OH-S2G 型李经理1345-1937379
ポンプ形式 口径 4极モータ直结駆动の场合
SC30S-112 40A
SC40S-112
40A
SC50S-112 50A13451937-379
SC60S-112 50A
SC80S-112 65A
SC100S-112 65A
SC125S-112 80A 南京 1345193-7379
SC160S-112 80A
SC200S-112 80A
SC250S-112 100A
SC315S-112 100A
SC400S-112 100A
SC560S-112 125A
SC630S-112 125A 川李经理025-8465 9345
SC800S-112 125A
SC1000S-112 125A
SC1250S-112 150A
SC1600S-112 200A
kg/cm2G kg/cm2G
SC30S-112 40A
SC40S-112 40A
SC50S-112 50A
SC60S-112 50A
SC80S-112 65A
SC100S-112 65A
SC125S-112 80A
SC160S-112 80A
SC200S-112 80A1345 1937-379千川
SC250S-112 100A
SC315S-112 100A
SC400S-112 100A
SC560S-112 125A
SC630S-112 125A南京-千川李-经理13451937-379
SC800S-112 125A
SC1000S-112 125A
SC1250S-112 150A
SC1600S-112 200A南京千川李经理热线：025-846 59345
V4-01 25LG-1PT
V4-02 20LG-3/4PT
V4-03 15LG-1/2PT
GV-1-6
GV-1-8 李经-理13451 937379
GV-1-10
GV-1-15
GV-1-20
GV-1-25
GP-122-2U-30 千-川 1345-193737-9
GP-122-4U-30
GP-122-6U-30
GP-122-8U-30
GP-122-10U-30
GC-13
GC-20
GC-25李经理134 5193-7379
MC 型
KR-S 型
KR 型
HSR-S 型
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CSB-S 型
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VSR-M 型
VSR 型
VSR-BSM 型手机 13 451937379千川李小姐
HPR-M 型
HP-M 型
HP 型
HP-Tv2型
HP-S2 型
HP-M2 型
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KH-M2 型
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OH-S2G 型李经理1345-1937379
ポンプ形式 口径 4极モータ直结駆动の场合
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40A
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SC400S-112 100A
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MF-25S
MF-40S
MF-50S南京千川李小姐134519373 79
MFC-2524S
MFC-4024S
MFC-5024S134-5 1937379
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MF-40S
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手 机: （24小时服务）：13451937379李小姐
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