产品特性
·100mm长的光栅结构
·应用领域包括色散补偿和DWDM
·全息法制作，消除了间隙误差
技术指标
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参 数 |
数 值 |
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工作波长 |
190-320nm |
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相位掩膜板周期 |
0.6-1.2um |
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模板周期的精度 |
&plu***n;0.3nm(&plu***n;0.1nm可以选择) |
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模板周期的测量***度 |
&plu***n;0.02nm |
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基板尺寸 |
15mmx 127mm |
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实际模板的栅结构尺寸 |
10mmx 100mm |
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残留啁啾(对均匀模板) |
≤10pm/cm, 在90nm的中心区域 |
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啁啾范围(对啁啾模板) |
0.03nm/cm-30nm/cm |
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啁啾精度 |
&plu***n;0.005nm/cm-1nm/cm(随啁啾改变) |
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线性啁啾的非现性 |
0.5%到35%(随啁啾改变) |
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衍射效率 |
0级衍射≤5%, &plu***n;1级衍射≥30% |
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光脉冲损害极限 |
1J/cm2, 50Hz@248nm |
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材料 |
人造石英 |
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基板平面 |
< 2um TIR, 两边 |
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验收涂覆 |
可选 |
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楔 |
< 30 arcsec |
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厚度 |
2.3mm&plu***n;0.2mm |