立式减薄机IVG-200S设备结构
1.构成
1)磨盘主轴系统
2)工件盘主轴系统
3)进给系统
4)控制系统
5)辅助设备
2。规格
1)砂轮尺寸:(O.D)200mm×(X)7mm×(T)5mm
2)加工尺寸:较大Φ250mm
3)速度和功率:
砂轮:3,000rpm(无级可调) 3.0kW AC伺服电机
工件:200rpm (无级可调) 0.75kW 齿轮电机
4)分辨度:0.001mm
5)精度:±0.002mm
6)重复度:0.001mm
7)研磨范围:200mm
8)进给率:0.1μm-1000μm/sec





立式减薄机IVG-200S设备规格
设备规格:
1)磨盘主轴系统
A) 类型:滚子轴承
B) 电机:AC 伺服电机(3.0kW)
C) 砂轮规格:Ф200mm
2) 工件盘主轴系统
A) 类型:滚子轴承
B) 电机:齿轮电机(0.75kW)
3) 进给系统
A) 类型:Combination of Ball Serve and LM Guide
B) 电机:微步进给电机
C) 控制:0.1μm Control by Linear Scale Feedback
4) 控制系统(PLC)
A) 制造商:Parker Hannifin Co.
B) 控制器:SX Indexer/Drive
C) 显示系统:EASON 900
5) 辅助设备
A) 电源:220V,50Hz,3相,5kW
B) 气压:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6Mpa)
C) 离心分离机:Sludge Free(SF100)(选配件)
D) 水箱容量:200L
E) 冷凝器:0.5kw
F) 过滤装置:20μm,10μm Cartridge Filter
6) 尺寸及重量
设备尺寸:1,100(W) x 950(D) x 1,976(H)
设备重量:1,400kg
硅片高速减薄机特点
北京凯硕恒盛科技有限公司主营项目:双面研磨机,内圆磨床,外圆磨床,减薄机,轴承磨加设备,汽车零部件磨床,砂轮,刀具等。
硅片高速减薄机特点:
1.可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
2.减薄效率高,减薄机加工,LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
3.系列研磨机采用CNC程控系统,触摸屏操作面板。
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