洁净棚7
从确保洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤&plu***n;10%时***好不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法。
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