大流量气体质量流量控制器
DSN系列气体质量流量控制器特性：
产品名称：DSN-MFC气体质量流量控制器(MFC)
气体流量控制器标准量程（N2）：0～30、50、100、200SLM；
气体流量控制器准精度：&plu***n;2％F.S； 重复精度：&plu***n;0.2%F.S
气体流量控制器响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec
气体流量控制器线性：&plu***n;（0.5～1）％F.S 工作压差范围：0.05～0.3MPa
气体流量控制器耐压：3，10MPa； 工作环境温度：5～45℃
气体流量控制器输入输出信号电压：0～+5.00Vdc(输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA)
气体流量控制器电源：+15V,500mA、-15V,500mA
气体流量控制器电连接器：D14pin
气体流量控制器外形尺寸：130*28*130mm
气体流量控制器重量：约1.5kg
气体流量控制器接口尺寸：Swagelok:Φ8.Φ10.Φ3/8〞....
VCR接头:Φ3/8〞.Φ5/8〞........
气体-流量范围30-200SLPM)
DSN-MFC模拟气体质量流量控制器采用“激光分选”工艺制作的微型传感器，气体层流结构精密均匀，高耐腐蚀，使得MFC气体流量控制器具有更优越的性能优势：
1.高的可靠性、稳定性和重复性。
2.高精密的控制机构。
3.高速响应 MFM< 0.5秒； (MFC通常< 4s)。
4.长寿命（正常使用可达十年以上）。
5.气体流量控制器采用微小尺寸的传感器，消除了“传感器”本身热效应对层流的***，“零点漂移”小于1%。
6.气体流量控制器可自行清除工作过程中的表面污物（注：此项操作须在生产厂家进行）。
7.气体流量控制器适应于一切气体（包括腐蚀性气）。
8.气体流量控制器采用一体化设计，具有优越的抗电磁干扰性能。