公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
光刻(英语:photolithography)是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝i光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。
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光刻胶又称光致抗蚀剂, 将掩膜板上的图形转移到晶圆表面顶层的光刻胶中,并在后续工序中,保护下面的材料(刻蚀或离子注入)。光刻胶由感光树脂、光引发剂、添加剂、溶剂等组成, 其中,感光树脂是光刻胶作用的关键组分。
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接触式光学微影技术所使用的光罩,其表面特征图案尺寸与实际复i制于基板上的图案为1:1的比例,光刻板,以直接贴近于光阻层表面的方式进行曝i光;而倍缩微影技术所使用的光罩,其表面特征图案尺寸则为实际复i制于基板上图案的数倍,经由光学系统投射的方式对光阻进行曝i光。
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