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氦质谱检漏技术是领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用作示漏气体制成的气密性检测仪器。由、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中***常用的两种方法。氦质谱检漏方法
氦质谱检漏技术是领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用作示漏气体制成的气密性检测仪器。由、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中***常用的两种方法。