该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。
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应用领域 |
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压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。 |
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主要特点 |
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量程20～1250μm； |
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分辨率<0.1nm；零磁滞； |
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线性***高0.02%； |
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频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调； |
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真空兼容选项； |
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双极性电容传感器工作示意图 |
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