江苏光刻板-苏州微麦光电有限公司

公司产品包括石英掩膜版，苏打掩膜版，以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图，定制版图，苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务！

光绘菲林尺寸涨缩原因分析

1、温度的影响

在相对湿度下，光绘菲林的尺寸随着温度的上升而涨大，温度下降而缩小，其热涨变形系数在18ppm/℃左右，也就是说当温度发生1℃的变化时，50cm长的菲林会发生9um的变化(或20寸中的0.36mil).

2、湿度的影响

在相对温度下，菲林的尺寸随着湿度的上升而涨大，相对湿度的降低而缩小，湿涨变形系数在10ppm/%RH右，也就是说当湿度度发生 1℃的变化时，50cm长的菲林会发生5um的变化(或20寸中的0.20mil).

3、胶片在光绘前没有经过预置

由于胶片制造时无法预先控制胶片中的湿度与每个生产车间的湿度一致，光刻板，因此使用之前应先使其与工作环境达到平衡的状况。建议预置时间为12小时，预置时必须打开胶片的内包装，使其与外界的空气充分接触。

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在制造芯片时，首先在晶圆（硅晶片）表面涂光感胶，再用光线透过掩模版（相当于芯片电路图纸的底片）照射硅片表面，被光线照射到的光感胶会发生反应。此后用特定溶剂洗去被照射或者未被照射的胶，电路图就印到硅片上。

　　此过程相当于木匠施工用墨斗放样、划线。

　　硅片上有了电路图的图样后，就轮到刻蚀机登场，刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工，在硅片表面雕刻出晶体管和电路。

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通过金属化过程，在硅衬底上布置一层仅数纳米厚的金属层。然后在这层金属上覆上一层光刻胶。这层光阻剂在***（一般是紫外线）后可以被特定溶液（显影液）溶解。使特定的光波穿过光掩膜照射在光刻胶上，可以对光刻胶进行选择性照射（***）。然后使用前面提到的显影液，溶解掉被照射的区域，这样，光掩模上的图形就呈现在光刻胶上。通常还将通过烘干措施，改善剩余部分光刻胶的一些性质。上述步骤完成后，就可以对衬底进行选择性的刻蚀或离子注入过程，未被溶解的光刻胶将保护衬底在这些过程中不被改变。