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涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,屏蔽泵价格低,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
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无介质或者输送介质流量小,使轴承干摩,烧碎轴承:屏蔽泵是由输送介质给滑动轴承提供和冷却的,在没有开入口阀和出口阀的情况下,屏蔽泵,滑动轴承因无输送介质润滑或冷却而导致损坏。泵运行工况波动大而导致的问题:屏蔽泵的轴向力是通过液压均衡方式自动平衡,在实际运行中如果运行参数(入口压力、出口压力)波动大,很容易***屏蔽泵的液力平衡,使滑动轴承承受大的径向和轴向力而导致轴承损坏。
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