无尘车间、洁净室、基本介绍
无尘室，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘室无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的***影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的***。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于***，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
控管项目
⒈ 能除去空气中飘游之微无尘室尘粒子。
⒉ 能防止微尘粒子之产生。
⒊ 温度和湿度之控制。
⒋ 压力之调节。
⒌ ***气体之排除。
⒍ 结构物与隔间之气密性。
⒎ 静电之防制。
⒏ 电磁干扰预防。
⒐ 安全因素之考虑。
⒑ 节能之考量。
⒒照度的的调节
⒓浮游菌及沉降菌的控制
无尘车间、洁净室、分类
1.乱流式
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制无尘室程产品。另外若系统停止运转再***，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式（Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为***适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
无尘车间、洁净室的构成
无尘室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：
⑴天花板系统、包括吊杆、纲梁、天花板格子梁
⑵空调系统、包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶隔墙板、包括窗户、门。
⑷地板、包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸照明器具、包括日光灯、***灯管等。
⑹无尘室之建筑主体构造、一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；C.吸湿性小；D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；
无尘车间、洁净室的用途分类
⑴、工业无尘室
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
⑵、生物无尘室，
主要控制有生命微粒（***）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为；
A、 一般生物无尘室，主要控制微生物（***）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、***（***室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、 生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：***学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组***、***制备）
无尘车间、洁净室的标准规范
⑴.洁净厂房设计规范 G***073-2001
⑵.***洁净***部建筑技术规范G***333-2002
⑶.医药工业洁净厂房设计规范GB 50457-2008
⑷.***病***建筑设计规范
⑸.医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法GB/T16292-1996
⑹.QS认证质量手册
⑺.GMP ***生产质量管理规范
⑻. 洁净室施工及验收规范GB 5091-2010
无尘车间、洁净室的洁净标准
10 洁净标准
（G***073-2001）
|
大于或等于所标粒径的粒子***大浓度限值（个/每立方米空气粒子） |
|||||
|
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
|
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
|
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
无尘车间、洁净室污染知识
1、发尘量
无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与***发尘量相比，一般***，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘***量也不断减少。
A、材质：棉质发尘量***大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。
B、样式：大挂式发尘量***大，上下分装型次之，全罩型***少；
C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；
D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
2、发菌量
工作人员产生的污染
1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）
2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。
3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种***和***。
5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。
6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。
7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。
分析国外试验资料可以认为
⑴ 无尘室内当工作人员穿无菌服时：
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
⑵ 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人、喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人
⑶ 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人
⑷ 无口罩发菌量：有口罩发菌量 1:7~1:14
⑸ 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例：
⑹ ***中人员发菌量 878个/ min.人
所以，可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人，动态发菌量一般不超过1000个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。
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