无氧烤箱AO-2DS FC针对晶圆产品的连续烘烤,满足测试要求和老化验证需求
矽旺无氧烤箱AO-2DS FC特点：
无氧烤箱AO-2DS FC针对晶圆产品的连续烘烤，满足测试要求和老化验证需求。同时采用快速风冷设计模块，缩短整个工艺时间。烘烤放置于12英寸和8英寸金属料盒中的晶圆片。
AO-2DS FC无氧烤箱规格参数
·电源 AC380V，三相， 50Hz；
·内胆尺寸 W600*D500*H610 mm (双工作腔)
·外部尺寸 W1280xD790xH1720 mm
·功率 18Kw
注：客户12英寸料架尺寸：W368xL310xH217mm. 2个/腔，上下各一个摆放；
客户8英寸料架尺寸：W216xL217xH247mm. 4个/腔，上二下二摆放；
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