高精度电涡流传感器***T是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、
2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺
寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种
性能可自行优化。
目标
1 能够***地调整和保持半导体晶片在进行物***相沉淀（PVD）室中整齐排列。
2 避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。
3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。
高精度电涡流传感器解决方案
在物***相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。
结果：提高了时间和精度。
高精度电涡流传感器特点
1 类型：***T-9700高精度电涡流传感器
2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
3 高分辨率：系统可识别
4 重复性： Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物***相沉淀。
5 系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。
详情请访问：
http://
英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
传真：0755-26528210/26435640
/I�ae�!�@ζhape id="_x0000_i1025" type="#_x0000_t75" style='width:351pt; height:312pt;mso-wrap-style:square;mso-position-horizontal-relative:page; mso-position-vertical-relative:page'> 
详情请访问：
英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
传真：0755-26528210/26435640