ZLDS100同轴度测量机构 激光测位移

1、传感器：激光测位移传感器 测量精度0.01mm。量程：20mm~30mm。

            PSD位敏传感器

2、测量机构：步进电机+联轴器+滚珠丝杠：实现***直线运动（那种超精密滚珠丝杠，一般用THK生产的）

        一端是：步进电机+联轴器+滚珠丝杠+夹紧装置+激光测位移传感器（管壁内径测量传感器）+PSD位敏传感器   

       一端是：步进电机+联轴器+滚珠丝杆+夹紧装置+激光测位移传感器（管壁内径测量传感器）+PSD激光***

3、测量原理：

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                                 激光束

                  激光束                                   激光束

   1：步进电机 2：联轴器 3：滚珠丝杠 4：夹紧装置 5：激光位移传感器

   6：PSD位敏传感器激光***  8：PSD位敏传感器***

   9：激光位移传感器 10：夹紧装置 11：滚珠丝杠  12：联轴器

   13：步进电机

步进电机带动滚珠丝杠可以实现***进给，定点后激光测位移传感器可以自身旋转进行测量，得到所处截面的轮廓计算出圆心。PSD位敏传感器是为了保证两端测量机构的同轴。

1. 各器件的选取：

            步进电机——

            联轴器——

            滚珠丝杠——

            夹紧装置——

            激光测位移传感器——

            PSD位敏传感器***

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