目标
1 能够***地调整和保持半导体晶片在进行物***相沉淀（PVD）室中整齐排列。
2 避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。
3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。
解决方案
在物***相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。
结果：提高了时间和精度。
特点
1 类型：电涡流位移传感器 ***T-9700
2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
3 高分辨率：系统可识别
4 重复性： Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物***相沉淀。
5 系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。
卡曼***T-9700电涡流传感器系列是一个基于脉宽调制技术的系统。具体来说，相位检测是基于脉冲宽度调制技术。该系统占地面积小，是理想的OEM配置，具有***的分辨率，并且只需要一个单端电源。定制的设计可调整满足客户的需求，同时18针的单列直插式封装卡可为客户整合到现有的主板。
电涡流位移传感器 应用领域
光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴***、原子显微镜垂直轴***、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的******、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。
电涡流位移传感器 主要特点
尺寸小巧
埃米级分辨率
有1、2或3通道可配电涡流探头
可配13种电涡流探头
工作温度：0～70ºC(补偿范围15～55ºC)
符合CE和RoHS标准
输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)
供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)
详情请访问：
英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012
传真：0755-26528210/26435640