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原子吸收光谱仪又称原子吸收分光光度计，根据物质基态原子蒸汽对特征辐射吸收的作用来进行金属元素分析。它能够灵敏可靠地测定微量或痕量元素。很长一段时间，原子吸收主要局限于天体物理方面的研究，在分析化学中的应用未能引起重视，其主要原因是未找到可产生锐线光谱的光源。
1916年帕邢（Paschen）首先研制成功空心阴极灯，可作为原子吸收分析用光源。
直至20世纪30年代，由于***的广泛应用，对大气中微量***的测定曾利用原子吸收光谱原理设计了测***仪，这是原子吸收在分析中的***早应用。
1954年澳大利亚墨尔本物理研究所在展览会上展出世界上***台原子吸收分光光度计。空心阴极灯的使用，使原子吸收分光光度计商品仪器得到了发展。