加热燃烧喷淋水洗式 PECVD尾气处理设备（SCRUBBER）半导体尾气处理设备
规格参数
尺寸：800长×805宽×1900高
类型：加热水洗式
处理能力：400升/分钟
排污方式：自然排+泵强排
喷淋室：加压喷射
水处理方式：泵循环+自来水
冷却方式：动力冷却循环水
电源：单相AC220V、45A、13KVA
产品应用：为 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备，应用于半导体行业、太阳能电池行业废气处理
产品简介：
◆处理方式： “湿法” 、“湿法 +燃烧”
◆处理原理：
湿法：多级水喷淋，使易溶于水或与水反应生成沉积的物质，已达到***腐蚀******的气体完整回收。
湿法 +燃烧：采用电加热方式，***气体等与氧气燃烧反应生成***的物质及易溶于水的物质，排放物为***无害的气体。
◆处理的气体种类包括SiH4、NH3、HCL、PH3、B2H6(BH3)、H2、NF3、CHF3等。
◆控制方式：全自动/手动（可切换）
◆完善的报警、连锁保护措施，如断水报警、人工或自动切入外接水临时处理以及根据用户定制的不同安全处理要求以适应不同行业的实际工艺使用要求
◆气路管件采用1/4”及3/8”不锈钢管道，为耐腐蚀级316L（CARDINAL/SANDVIK）、燃烧室及喷淋室为304不锈钢，阀门焊接头为 SWAGELOK或相当、塑料管道阀门采用优质PVC材料，泵采用耐腐蚀水循环泵、连接口采用标准的KF连接及VCR、卡套等接口，管道采用自动轨道焊接