硅片上有了电路图的图样后,掩膜版,就轮到刻蚀机登场,刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工,在硅片表面雕刻出晶体管和电路。
芯片主要是精度要求高。纳米精度是什么概念呢?是我们肉眼无法分辨的,大概相当于一根头发丝的5000分之一纳米细小。
光刻机几个关键部件:
光源:必须稳定、高质量地提供指i定波长的光束。
能量控制器:就是电源。电源要稳定、功率要足够大,否则光源发生器没办法稳定工作。大、稳、同时要考虑经济性能。耗电太高,客户就用不起。

公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
光刻和刻蚀有什么区别?
这两个词是半导体工艺中的重要步骤,需要配合剖面图讲解,***i好自己找本半导体工艺的书看。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。

光刻板业内又称光掩模版、掩膜版,光罩,英文名称 MASK 或 PHOTOMASK),材质:石英玻璃、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃或者苏打玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶。(感光胶又称光致抗蚀剂,是利用光化学反应进行图形转移的媒体性精细***,根据不同的用途性能等有多种型号,目前光掩模版大多数都是用的正性胶。光刻正性胶在经激光照射后,曝i光区的邻重氮萘醌化合物发生光解反应重排成羧酸,使胶膜加速溶于稀碱水溶液。)把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝i光在感光胶上,被曝i光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝i光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影***,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:曝i光,显影,去感光胶,***后应用于光蚀刻。

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