公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
接触式光学微影技术所使用的光罩,其表面特征图案尺寸与实际复i制于基板上的图案为1:1的比例,以直接贴近于光阻层表面的方式进行曝i光;而倍缩微影技术所使用的光罩,其表面特征图案尺寸则为实际复i制于基板上图案的数倍,光刻板,经由光学系统投射的方式对光阻进行曝i光。
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到master maks上,应用到实际曝i光中的为工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask复i制过来。
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掩膜的用法
2.1 提取感兴趣区:用预先制作的感兴趣区掩膜与待处理图像相乘,得到感兴趣区图像,感兴趣区内图像值保持不变,而区外图像值都为0;
2.2 屏蔽作用:用掩膜对图像上某些区域作屏蔽,使其不参加处理或不参加处理参数的计算,或仅对屏蔽区作处理或统计;
2.3 结构特征提取:用相似性变量或图像匹配方法检测和提取图像中与掩膜相似的结构特征;
2.4 特殊形状图像的制作。
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