IoN 40 / M4L等离子清洗机
PVA TePla公司的IoN 40等离子清洗机是为科研和生产领域设计的全功能的等离子表面处理设 备。该设备外观简洁、高度集成化，可应用在 ***诊断、光学、电子等领域对各种材料的表 面进行清洁、化学修饰或涂层沉积。PVA TePla 公司的高品质、高性价比、操作简单的等离子清洗机为各种不同的应用领域提供了******的创 新解决方案，得到了用户的广泛信赖。
***的功能性：
灵活的电极设计保证了工艺的均匀性
触摸屏操作的图形用户界面（GUI），操作软件符合Semi E95-1101和 FDA CFR第21章第Ⅱ部分的要求
菜单驱动式工艺过程绘图和自诊断功能以太网通讯功能
节能模式
气体切换功能安装简单快捷
规格参数
工作腔室
材质 铝
容积 36.5升
内部尺寸(宽/高/深) 330 x 229 x 483 mm
可选电极
初级等离子体
- 垂直电极
- 侧壁电极
- 可抽卸的3层或5层电极板
（ 284 mm x 349 mm 托盘）
- 3层温控电极
- 低微粒电极
次级等离子体 笼式电极
工艺气体
质量流量控制计 ***多至6路气体
工艺压力 大约0.16 2.66 mbar（取决于真空泵和气体流量）
抽真空时间 大约1分钟（取决于真空泵）
放气 可调
射频电源 风冷，13.56 MHz，600 瓦（标配）
供给需求
电源 220 V / 50 Hz，单相， 2.3 KW，
工艺气体 输入压力1~2 bar（14.5~29 PSI）
吹扫气体 输入压力1~2 bar（14.5~29 PSI）
压缩空气 输入压力4~6 bar（58~87PSI） 设备尺寸(宽/高/深) 775 x 723 x 781 mm
重量 157Kg
可选配置
1%精度的真空规压力控制器
指示灯柱
条形码阅读器 工艺气体切换器工艺编辑软件 光谱终点检测器
300瓦13.56 MHz射频电源不锈钢材质MFC
打印机
循环液体冷却器气相MFC
液态单体操作装置
真空泵（旋片泵、干泵或涡旋泵）
安全认证标准
CE认证EN 61010
EN 61326