KAMAN电涡流传感器 电涡流传感器 半导体晶片位置的测定--平板影印术
目标
1.对于在应用于半导体晶片的成产的平板影印术过程中，***测定Z轴位置，精度保持在亚原子水平。
2. 保持高分辨率和可重复性。
3 .避免不良的影响，例如 抖动，磁滞，以及热漂移等一些列在其他阶段处理中发生的情况。
解决方案
在***控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须***地在能源的焦平面上。KAMAN电涡流传感器电涡流传感器系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。
KAMAN电涡流传感器电涡流传感器特点：
1 .类型：***T-9700
2 .非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
3 .高分辨率：系统可分辨出1纳米的位置改变。
4 .可重复使用。
5 .应用广泛。
KAMAN电涡流传感器***T9700拥有工业标准的电流和电压输出，用户可以接上数据采集卡，报警指示灯设备，与***T9700电涡流传感器一起组成监测报警系统或闭环系统，一旦振动位移量超出警戒线，可实现报警功能或者做下一步处理。
KAMAN电涡流传感器***T9700电涡流传感器还有一个优势在于，可以一个传感器控制三通道，连接三个探头同时进行三点测量，这大大降低了一探头一控制器的成本
***T9700电涡流传感器探头与控制器分开，探头小，安装方便，而且探头使用了微封技术，具有很长的寿命。
KAMAN电涡流传感器***T电涡流传感器是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。
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