光刻板-制版(图)

掩膜版：通俗点理解，相当于过去用胶片冲洗照片时的底片。底片如果精度不够，是洗不出来高精度照片的。光刻机施工前，要根据设计好的芯片电路图制作掩膜板。掩膜板材质是石英玻璃，玻璃上有金属铬和感光胶。通过激光在金属铬上绘制电路图。精度要求非常高。

　　透镜：用透镜的光学原理，光刻板，将掩膜版上的电路图按比例缩小，再用光源映射的硅片上。光在多次投射中会产生光学误差。要控制这个误差。精度要求很高。

　　就是测量台移动的控制器，也是纳米级精度，要求超高。

如果提出印刷要求的客户没有文档，只提供一个实样，实样如果是四色i图案的，很复杂的，这时就需要先拿去滚筒扫描，扫描之后就要电脑制作，俗称电脑制版，这里制的版就是指菲林，(菲林:就是胶片，和照相用的胶卷一样的，术语就叫菲林。你应该有在报纸上看过，某某一出现，抹杀了不少摄影师的菲林，同一个意思) 在用电脑制作好后，根据数量，规格等等来拚版，就是拚在一纸张的开数里面。比如四开，六开等，然后就是输出菲林。

硅片上有了电路图的图样后，就轮到刻蚀机登场，刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工，在硅片表面雕刻出晶体管和电路。

　　芯片主要是精度要求高。纳米精度是什么概念呢？是我们肉眼无法分辨的，大概相当于一根头发丝的5000分之一纳米细小。

　　光刻机几个关键部件：

　　光源：必须稳定、高质量地提供指i定波长的光束。

　　能量控制器：就是电源。电源要稳定、功率要足够大，否则光源发生器没办法稳定工作。大、稳、同时要考虑经济性能。耗电太高，客户就用不起。