电涡流位移传感器半导体晶片的***（化学气相沉淀）
目标
1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。
2 使化学物质沉淀在晶片上。
解决方案
在沉淀开始前，Kaman电涡流传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以***金属盘在一个***合适的位置。Kaman电涡流传感器系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。
特点
1类型：***T-9700电涡流位移传感器
2 直接测试： 一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。
3 无需接触：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。
4 应用广泛。
卡曼***T-9700电涡流位移传感器系列是一个基于脉宽调制技术的系统。具体来说，相位检测是基于脉冲宽度调制技术。该系统占地面积小，是理想的OEM配置，具有***的分辨率，并且只需要一个单端电源。定制的设计可调整满足客户的需求，同时18针的单列直插式封装卡可为客户整合到现有的主板。
电涡流位移传感器应用领域
光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴***、原子显微镜垂直轴***、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的******、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。
电涡流位移传感器主要特点
尺寸小巧
埃米级分辨率
有1、2或3通道可配电涡流探头
可配13种电涡流探头
工作温度：0～70ºC(补偿范围15～55ºC)
符合CE和RoHS标准
输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)
供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)
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英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
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