电子束蒸发镀膜机公司-电子束蒸发镀膜机-北京泰科诺公司

电子束蒸发镀膜机旋片泵容易坏怎么办？

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸发镀膜机

在电子束蒸发镀膜机的使用过程中，我们如果不注意***。那么就会产生很多不必要的麻烦。这对于整个作业来说都有着较大的影响。电子束蒸发镀膜机旋片泵故障就是其中之一。

电子束蒸发镀膜机产生这个问题的原因可能是灰尘问题，有些真空镀膜设备的接摸过程中会产生大量的灰尘，而这些灰尘被旋片泵抽气过程中随气体进入到了旋片泵里面混杂在泵油中，久而久之就对泵的转子和泵腔造成磨损和***。如果灰尘很多，那么需要使用除尘器配合油过滤系统才行，这样就能保证旋片泵不容易坏的同时，并提升使用寿命；如果灰尘量不是特别多，那就只要用油过滤系统滤除掉灰尘就行。

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电子束蒸发器镀膜机的维修技巧　

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸发镀膜机

电子束蒸发器镀膜机的维修技巧　　

电子蒸发束镀膜机在使用的过程中因为自身设备的特点可能会出现或大或小的故障问题，电子束蒸发镀膜机公司，***常见到的故障大多是由电路短路、镀膜材料的残渣等原因。

1、真空的腔体内有焦糊味

设备在使用中，从真空腔体内发出焦糊味，要判断的是零件时候有发生损坏或者被烧毁，如果在排查后发现零件没有任何的异常或者损坏，那么工作人员就需要对设备进行逐步的排查，在维修的过程中需要对腔体采用排除的方法进行检测，电子蒸发源是整个系统的主要的结构，电子束蒸发镀膜机品牌，也是排查问题的时候***需要检测的位置。

2、电子枪无法正常的工作

由于电子束是依靠电子枪产生的，如果电子枪无法正常的工作会影响到整台设备的正常工作。需要确定的是高压电缆线的连接部位是否正常，如果正常的情况的话，就需要查看周围的环境是否比较的潮湿，潮湿的环境有可能会造成电路的短路，容易造成设备出现故障问题。

3、电子束流不能正常的加载

出现这种故障有可能是电极或者电极或者是调压器内部有积炭或有短路现象，它在低电流时还正常，但把电流升到一定的数值时就击穿，电子束蒸发镀膜机哪里有，就会出现跳断路器的现象，表面上有时发现不了，好用兆欧表对地摇一摇

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电子束蒸发与磁控溅射镀膜的性能分析研究

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随着科学技术的不断发展，半导体器件的种类不断增多。原始点接触晶体管、合金晶体管、合金扩散晶体管、台面晶体管、硅平面晶体管、TTL集成电路和N沟硅栅平面MOS集成电路等，其制造工艺及工艺之间的各道工序也有所差别。在硅平面晶体管工艺过程中，电极材料的制备技术是一项关键工艺，典型的制备技术主要有两类：一类是电子束蒸发镀膜技术，另一类是磁控溅射镀膜方法。长期以来，在生产实践中由于电了束蒸发与磁控溅射这两种方法制备晶体管微电极各具优势，而且各自采用的设备和工艺不同，因而其产品质量孰优孰次一直存在争论。本文就这一问题展开研究，详细分析了常用电极材料Al通过这两种方法制备成薄膜电极的膜厚控制、附着力、致密性、电导率和折射率等重要性能指标，测试结果分析表明磁控溅射铝膜的综合性能优于电子束蒸发。

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