| 超高真空光栅 | ||||||||||||||||||||||
| RGH20F UHV | ||||||||||||||||||||||
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| 概述 | ||||||||||||||||||||||
| RGH20F UHV圆光栅读数头与雷尼绍的RESR圆光栅兼容，在超高真空条件下提供保真度极高的直接位置反馈。RGH20F UHV广泛应用于对性能和可靠性要求极高的半导体和科学设备上，其良好的性能在多年实际应用中已得到验证。 | ||||||||||||||||||||||
| UHV系列的用途 | ||||||||||||||||||||||
| 提高产量和收益 消除速度/分辨率局限 提高运动控制性能 降低损坏风险 RESOLUTE UHV是真正的***式光栅，开启后可立即采集***位置 移动轴时不会有碰撞风险 RESOLUTE UHV任何时候都能保持***控制，即使断电后也是如此 增强可靠性 RESOLUTE UHV具有内置的位置检查算法 |
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| UHV读数头的特性与优点 | ||||||||||||||||||||||
| 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低，进行残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境 120 °C烘焙温度 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零 具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1 nm 电耗低、发热小 排气密封 自适应电路可确保高精度、长期工作的可靠性和低周期误差（RGH25F UHV和RGH20F UHV为&plu***n;50 nm，TONiC UHV为&plu***n;30 nm） 带有真空兼容涂层线路的RFI屏蔽线缆 TONiC UHV光栅具有光学参考零位 |
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| 与REF接口兼容 | ||||||||||||||||||||||
| 为了进一步提高性能和长期可靠性，由符合RoHS标准的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有动态信号调节功能和5 nm的分辨率。 RGH25F UHV读数头由精选的低除气速率材料和粘合剂在指定的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁。 |
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| 真空兼容型钢带栅尺 | ||||||||||||||||||||||
| RGS20-S钢带栅尺提供具有高重复性的测量标准。该标准适用于半导体和科学产业中使用的***常见的工程材料，包括ZeroMet™、Zerodur®、不锈钢和铝。当使用推荐的环氧树脂将栅尺的末端锁入基体时，栅尺适应基体的热膨胀系数，从而表现出如同基体本身被刻划栅线的特性。 | ||||||||||||||||||||||
| 残留气体分析 (RGA) 测试结果 | ||||||||||||||||||||||
| 通过***残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。 |
更多相关详细技术指标，欢迎您致电：010-84450370，***:649909728,联系人：徐涛
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