蓝宝石电路激光精密直写蚀刻 激光直写 电路蚀刻 FM-MicroCircuit5 费米激光
激光精密蚀刻直写（或 电路激光精密直写 激光直写电路 激光蚀刻电路 激光精密电路蚀刻）加工相比光刻腐蚀等等，具有以下优点：
直接加工成型，无需复杂的掩膜制造、镀膜、光刻腐蚀等工艺流程
无污染无耗材，无化学腐蚀
高速（扫描速度高达15m/s）
高精度（＜&plu***n;2μm）
无材料限制，基底材料玻璃、陶瓷、硅片、有机物等等不限
加工线宽***小5μm
加工幅面图形可定义300mm*300mm
费米激光提供的激光精密蚀刻直写设备，***小加工线宽5μm，整体加工精度&plu***n;2μm，局部特征精度＜2μm，加工幅面300*300mm，以玻璃、蓝宝石、金属、、陶瓷、有机物等为基底的精密电路图形蚀刻。
主要用于： ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、模板制备、生物芯片制备。
主要特点：
1.采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级加工线宽，μm级热影响区；
2.通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现***高15m/s高速小幅面精密蚀刻；
3.通过微米级高速直线电机平台平移实现高速高精度大幅面蚀刻；
4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构蚀刻要求；
5.旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正、超高精度的对焦、以及在线线宽测量，保证系统长期使用稳定性和精度；
6.在线检测激光加工的效果，快速优化加工工艺；
7.系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。
设备参数
类别 参数 FM-MircoCircuit5-355
加工能力 ***小线宽 5μm
系统加工精度 ≤&plu***n;2μm
重复精度 ≤&plu***n;1μm
加工范围 300mm*300mm可扩展
加工材料 以玻璃、蓝宝石、金属、、陶瓷、有机物等为基底的镀金、银、铜、铬、镍等电路
冷却 水冷（1500W制冷量）
吸尘 三重粉尘净化
电力 220V 50~60Hz
功耗 ≤2000W
尺寸 850*1500*1800mm
重量 1200Kg
【注】恒温（25&plu***n;0.5℃），预热30分钟之后获得
上海费米激光科技有限公司为客户提供1~500微米特征线宽的精密微孔、精密蚀刻、精密切割、精密成型等激光解决方案。加工幅面300*300mm以上，整体加工精度***高&plu***n;2μm，局部特征精度＜2μm，金属、陶瓷、有机物、玻璃等等均可加工。
固定电话：021-31006703
在线***：2307075936
联系方式：15601692570
地址：上海市松江区申港路215号511
公司网址：