高精度电涡流传感器***T-9700

高精度电涡流传感器***T是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、 2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺 寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种 性能可自行优化。 目标 1 能够***地调整和保持半导体晶片在进行物***相沉淀（PVD）室中整齐排列。 2 避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。 3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。 高精度电涡流传感器解决方案 在物***相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。 结果：提高了时间和精度。 高精度电涡流传感器特点 1 类型：***T-9700高精度电涡流传感器 2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。 3 高分辨率：系统可识别 4 重复性： Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物***相沉淀。 5 系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。 详情请访问： http:///ml http:// 英国真尚有集团 深圳市真尚有科技有限公司 电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012 传真：0755-26528210/26435640