公司产品包括石英掩膜版,掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,在半导体上形成图型,为将图型复i制於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像复i制至相片上。
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光绘菲林尺寸涨缩原因分析
1、温度的影响
在相对湿度下,光绘菲林的尺寸随着温度的上升而涨大,温度下降而缩小,其热涨变形系数在18ppm/℃左右,也就是说当温度发生1℃的变化时,50cm长的菲林会发生9um的变化(或20寸中的0.36mil).
2、湿度的影响
在相对温度下,菲林的尺寸随着湿度的上升而涨大,相对湿度的降低而缩小,湿涨变形系数在10ppm/%RH右,也就是说当湿度度发生 1℃的变化时,50cm长的菲林会发生5um的变化(或20寸中的0.20mil).
3、胶片在光绘前没有经过预置
由于胶片制造时无法预先控制胶片中的湿度与每个生产车间的湿度一致,因此使用之前应先使其与工作环境达到平衡的状况。建议预置时间为12小时,预置时必须打开胶片的内包装,使其与外界的空气充分接触。

光刻板业内又称光掩模版、掩膜版,光罩,英文名称 MASK 或 PHOTOMASK),材质:石英玻璃、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃或者苏打玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶。(感光胶又称光致抗蚀剂,是利用光化学反应进行图形转移的媒体性精细***,根据不同的用途性能等有多种型号,目前光掩模版大多数都是用的正性胶。光刻正性胶在经激光照射后,曝i光区的邻重氮萘醌化合物发生光解反应重排成羧酸,使胶膜加速溶于稀碱水溶液。)把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝i光在感光胶上,被曝i光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝i光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影***,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:曝i光,显影,去感光胶,***后应用于光蚀刻。

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