减薄机的特点
北京凯硕恒盛科技有限公司主营项目:双面研磨机,内圆磨床,外圆磨床,减薄机,轴承磨加设备,汽车零部件磨床,砂轮,刀具等。
特点
型号: 全自动VRG-300A
型号:HRG-150
1. 结构简单稳固
铸铁机身
结构设计精良
减少晶片表面损伤及翘曲
2. 自动尺寸控制系统
3.自动修整系统
4. 全自动上下料系统
5. 自动清洗和干燥系统
6. 可编程操作系统
可存储20套加工程序,简单操作
易于操控
应用领域
硅片,碳化硅片,蓝宝石晶圆,金属,陶瓷,
碳,玻璃,塑料,复合材料
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减薄机主要特点
减薄机主要特点:
1、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320-600mm。。
2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。
3、砂轮进给模式分三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果,
4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作,不需要每次都要对刀。
5、本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光栅尺检测。
6、本机采用***的台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。
7、设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,欧洲晶片减薄砂轮,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
8.减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度高可减薄250微米。
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立式减薄机IVG-200S设备结构
1.构成
1)磨盘主轴系统
2)工件盘主轴系统
3)进给系统
4)控制系统
5)辅助设备
2。规格
1)砂轮尺寸:(O.D)200mm×(X)7mm×(T)5mm
2)加工尺寸:较大Φ250mm
3)速度和功率:
砂轮:3,000rpm(无级可调) 3.0kW AC伺服电机
工件:200rpm (无级可调) 0.75kW 齿轮电机
4)分辨度:0.001mm
5)精度:±0.002mm
6)重复度:0.001mm
7)研磨范围:200mm
8)进给率:0.1μm-1000μm/sec
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