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由薄膜产生的干涉。薄膜可以是透明固体、液体或由两块玻璃所夹的气体薄层。入射光经薄膜上表面反射后得***束光，折射光经薄膜下表面反射，又经上表面折射后得第二束光，这两束光在薄膜的同侧，由同一入射振动分出，是相干光，属分振幅干涉。若光源为扩展光源（面光源），则只能在两相干光束的特定重叠区才能观察到干涉，故属定域干涉。对两表面互相平行的平面薄膜，干涉条纹定域在无穷远，通常借助于会聚透镜在其像方焦面内观察；对楔形薄膜，干涉条纹定域在薄膜附近。
薄膜（thin film）是一种薄而软的透明薄片，用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜材料指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层，聚酯薄膜由原子、分子或离子沉积在基片表面形成，如光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等。薄膜被广泛用于电子电器、机械、印刷等行业。薄膜干涉中两相干光的光程差公式，n为薄膜的折射率；t为入射点的薄膜厚度；θt为薄膜内的折射角；&plu***n;λ/2 是由于两束相干光在性质不同的两个界面（一个是光疏-光密界面，另一是光密-光疏界面）上反射而引起的附加光程差。薄膜干涉原理广泛应用于光学表面的检验、微小的角度或线度的精密测量、减反射膜和干涉滤光片的制备等。