表1. D07-7B 型MFC性能指标
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编号 |
项 目 |
D07-7B 型 |
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1 |
流量规格 |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
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2 |
准确度 |
&plu***n;1.5 % F.S |
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3 |
线性 |
&plu***n;1 % F.S |
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4 |
重复精度 |
&plu***n;0.2 %F.S |
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5 |
响应时间 |
电特性: 10 sec |
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6 |
工作压差范围 |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
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7 |
耐压 |
3 MPa |
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8 |
工作环境温度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
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9 |
输入输出信号 |
0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |
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10 |
电源 |
+15 V 50 mA -15V 200 mA |
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11 |
外形尺寸 |
见图4 |
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12 |
重量 |
1.1 kg |
注意
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质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃);
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
F.S. (FullScale): 满量程值