光纤传感器-善测

国内光纤传感器发展现状

我国在70年代末就开始了光纤传感器的研究，其起步时间与国际相差不远。目前已有上百个单位在这一领域开展工作，其中的大学包括清华大学、北京航天航空大学，哈尔滨工程大学、哈尔滨工业大学、吉林大学、大连理工大学、北京交通大学、华中科技大学、北京理工大学、南开大学、天津大学、武汉理工大学、重庆大学、电子科技大学、上海大学、上海交通大学、复旦大学、浙江大学、南京大学、南京航空航天大学、暨南大学、深圳大学、国防科技大学、中国计量大学等，研究所包括：电子工业部下的38所，航天11所、中科院半导体所、上海微系统所、航空304所等。目前从事光纤传感器产业化的公司估计有上一百家了。他们在光纤温度传感器、压力计、流量计、液位计、电流计、位移计等领域进行了大量的研究，取得了上百项科研成果，其中相当数量的研究成果具有很高的实用价值，有的达到世界***水平。每年发表的***、申请的专利也不少。但与发达***相比，我国的差距主要表现在产品的可靠性、稳定性方面，大多数品种仍处于实验室研制阶段，不能投入批量生产和工程化应用。

传感器（Transducer/Sensor）是一种检测装置，能感受到被测量的信息，光纤传感器，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制…等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。 ***标准GB7665-87对传感器下的定义是：“能感受规定的被测量件并按照一定的规律(数学函数法则)转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。

“传感器” 在新韦氏大词典中定义为： “从一个系统接受功率，通常以另一种形式将功率送到第二个系统中的器件”。根据这个定义，传感器的作用是将一种能量转换成另一种的能量形式，所以不少学者也用“换能器（Transducer）”来称谓 “传感器 ”。

接触电容式高温压力传感器的温度效应

随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展，微小尺寸的半导体传感器得到快速发展。半导体传感器具有体积小、重量轻、精度高、成本低、温度特性好等优点，其制造工艺和半导体平面工艺兼容，满足传感器向智能化和集成化发展的需要。从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发动机、内燃机的监测和控制，越来越多的领域都要求工作温度在200℃以上的压力传感器。常见的高温压力传感器材料有多晶硅、石英、 SiC、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(蓝宝石上硅)等。SOI的低压、低功耗、电隔离等优势，提高了传感器对恶劣环境的适应性，基于硅隔离SOI技术的耐高温压力传感器得到了广泛应用。相对于硅压阻式压力传感器，电容式压力传感器具有低噪声、高灵敏度、低温漂、动态变化范围大等显著优点。