主要技术指标
常规的处理量：0.1-50g
升华区温度：50-800℃
沉积区温度：50-500℃
炉管尺寸(： Φ50x1200 mm高纯石英管
加热区分布：100+200+100+100+100mm
控温点数量：5点***控温
控温方式：数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表，采用模糊型PID控制
开启方式：开门式炉体结构上下翻盖液压手动开启
极限真空（洁净系统）：5X10-5Pa
分子泵抽气速率：100L/S
额定功率：5KW
额定电压：AC 220V Single Phase，50/60 Hz
过滤方式：系统采用三级过滤保护装置，分别采用多级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤