金属有机化学气相沉积系统

镀制好的基片从真空室内输送到大气中后,一般还要经过清洗及检测。清洗的要求没有前处理那么严格。目的是使膜层的缺陷更容易暴露出来,?以便在后续的检测中被发现。***简单的检测就是目测,金属有机化学气相沉积系统为便于观察,基片的底部分布有光源,?可以发现***的存在和数量,?有无放电的痕迹。出线端的透过率检测仪可以指出膜层***终的透过率。也可以在基片范围内布置多道探头,采集数据由计算机处理来评估膜层的纵向和横向的均匀性及有无异常。对于特殊用途的光学薄膜出线后即进入净化室,覆上一层保护用的带胶薄膜后存放。金属有机化学气相沉积系统并可防止活性气体周期性的混入镀膜室内。在溅射镀膜中尽量***油蒸汽的污染的必要性应是无可争议的。为了保证每个溅射室能在***的气氛下工作,相邻的溅射室之间应采取气氛隔离措施。这可通过狭缝装置来达到隔离的目的。所谓狭缝是用两块横贯室体的钢板水平围成的长200～300mm,高10～12mm?的空间,这是一种流导模型,?在分子态下具有很小的传输几率。狭缝所处位置的室体横截面,除了缝外完全隔断。这样两道狭缝相距40～50cm?设置便可形成一种物理上的隔离。金属有机化学气相沉积系统两狭缝围成空间的两端配置有高真空机组,可使隔离效果更佳,控制在1%以内。这种结构的优越之处在于隔离气氛和传输玻璃可同时兼顾。如若不能实现有效的隔离,金属有机化学气相沉积系统当相邻的沉积区域气氛不同时,则相互的影响将严重的***膜层的均匀性,?甚至结构,这是不能允许的。
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