MOVPE设备

NMC-4000 MOVPE设备概述：
    MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金属有机***学气相沉积), 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、MOVPE设备5个鼓泡装置(各带***的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空)，完全的安全互锁。
    目前，NANO-MASTER(那诺-马斯特)MOVPE设备的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式***批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
    NMC-4000 MOVPE设备型号：
    台式系统
    5个带***冷却槽的起泡器
    加热的气体管路
    950 °C样品台，2"晶圆片
    3个气体环
    RF等离子源，带淋浴头气体分布
    工艺完成后N2自动冲洗
    极限真空5x10-7Torr
    250 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
    MOVPE设备通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
    菜单驱动，4级密码访问控制
    完整的安全联锁
    NMC-4000 MOVPE设备 配置：
    MOVPE设备***系统
    14"不锈钢立方体腔体
    1次在8"样品台上处理1个6"晶圆片或在12"样品台上处理5片4"片子
    加热的气体管路
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