光纤传感器-善测科技

接触电容式高温压力传感器的温度效应

随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展，微小尺寸的半导体传感器得到快速发展。半导体传感器具有体积小、重量轻、精度高、成本低、温度特性好等优点，其制造工艺和半导体平面工艺兼容，满足传感器向智能化和集成化发展的需要。从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发动机、内燃机的监测和控制，光纤传感器，越来越多的领域都要求工作温度在200℃以上的压力传感器。常见的高温压力传感器材料有多晶硅、石英、 SiC、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(蓝宝石上硅)等。SOI的低压、低功耗、电隔离等优势，提高了传感器对恶劣环境的适应性，基于硅隔离SOI技术的耐高温压力传感器得到了广泛应用。相对于硅压阻式压力传感器，电容式压力传感器具有低噪声、高灵敏度、低温漂、动态变化范围大等显著优点。

频率调制型光纤传感器

基本原理是利用运动物体反射或散射光的***频移效应来检测其运动速度，即光频率与光接收qi和光源间运动状态有关。当它们相对静止时，接收到光的振荡频率；当它们之间有相对运动时，接收到的光频率与其振荡频率发生频移，频移大小与相对运动速度大小和方向有关。因此，这种传感器多用于测量物体运动速度。频率调制还有一些其他方法，如某些材料的吸收和荧光现象随外界参量也发生频率变化，以及量子相互作用产生的布里渊和拉曼散射也是一种频率调制现象。其主要应用是测量流体流动，其它还有利用物质受强光照射时的拉曼散射构成的测量气体浓度或监测大气污染的气体传感器；利用光致发光的温度传感器等。

温度传感器及热敏元件

温度传感器主要由热敏元件组成。热敏元件品种教多，市场上销售的有双金属片、铜热电阻、铂热电阻、热电偶及半导体热敏电阻等。以半导体热敏电阻为探测元件的温度传感器应用广泛，这是因为在元件允许工作条件范围内，半导体热敏电阻器具有体积小、灵敏度高、精度高的特点，而且制造工艺简单、价格低廉。