DOE培训/ DOE培训/ DOE培训
试验设计（DOE）技术是半导体工艺设备与电路系统统计表征与优化的核心技术。在数学理论上，它是数理统计学中***重要的分支之一，也是发展***早、影响***大的分支之一。
现代统计学的主要奠基人之一R.A.Fisher在英国的农业试验站工作时，就从田间试验设计研究入手，发展了统计试验设计的基本思想和方法，推动了整个数理统计学的发展。此后，试验设计成为数理统计学中的一个很活跃的分支。试验设计技术的研究与发展始终与其在科研领域、工农业生产技术改进等各方面的应用紧密地联系在一起。发展至今，已形成广泛的理论和应用体系。DOE培训/ DOE培训/ DOE培训
试验设计是相关的统计学理论与试验技术的综合，它使研究人员能够找到好的试验、有效地进行数据分析并建立来自分析的结论和***初研究目标之间的联系。由于试验设计是统计学理论，下面介绍关于试验设计理论的几个基本概念：
1、指标
试验设计中，作为要求达到的工艺结果参数目标值要求称为“指标”，有时也称为“响应变量”。
2、因子
试验设计中，影响工艺结果参数的工艺输入变量称为“因子”，也称为“因素”。实际工艺中存在受控因素和非受控因素，对应的因子也分为“可控因子”和“不可控因子”，其中不可控因子又称为“噪声因子”或者“随机因子”。
3、水平
试验设计中，可供受控因素选用的数值称为水平。“水平”可可能取值的个数称为“水平数”。因此有的因子可能是多水平因子。例如，对氧化工艺，“温度”是影响氧化层厚度指标的一个可控因子.如果试验设计中，允许温度选用950℃, 975℃和1000℃三个值，则称温度是三水平因子。
4、试验方案
也可以称作“试验类型”，在确定试验指标与因素和水平后，就可以依据一定的统计学原则选择试验计划，建立试验方案。一个不好的设计可能只能获得***的信息(这些信息可能无助于分析)，而一个精心安排好的试验设计可能会使结果变得清晰明了，而且不需要进行太复杂的分析。可以说如何选取试验设计类型、构造试验方案，是试验设计技术的核心。DOE培训/ DOE培训/ DOE培训
5、试验设计矩阵
试验设计矩阵就是试验的矩阵描述，它不针对具体的因素设置，而是基于一般的代码构造的矩阵。因此，相对具体的试验方案，其具有更为广泛的意义，它是制定具体试验方案的关键，对试验的构造与分析十有用。
来源：天行健咨询
咨询***：400-777-6907 186 6535 9792 杨老师
DOE培训：/kechengdingzhi/ml
想了解更多精彩内容可关注天行健公众号：天行健管理咨询