特 徴
- 操作パ***ルで能力を１〜７段階可変で***ます。
- 50Hz・60Hz同一性能です。
- インターフェースを備えています。【本体とは別売りのリモートケーブルMT-173-8（３ｍ）が必要です。】
リモート運転を中心に 運転信号・圧力信号・フィルタ目詰まり信号・異常信号の出力が可能です。 - 他社にはない100V高圧型集塵***で、掃除***では足りなかった風量を満たします。（3.2m³/min）
- 24H連続運転可能です。
- クリーンルームクラス100,000〜10,000に設置で***ます。
- 運転立ち上がりを制御し、突入***流を***小限に抑えています。
- 掃除***のように定格時間がない為、連続運転が可能です。
- ブラシレスモーターなので、モーターからのブラシ発塵がありません。
- 風量が掃除***より大***く、フィルター目詰まりが発生しても回転を自動制御することで、で***る***け風量を安定させることがで***ます。
- B4サイズの設置面積です。
- 付着粉塵の吸引に適しています。
用 途
- 基板分割***などに使用されています。
- パ***ル表面集塵・スリ***ター装置などに適しています。スリ***トノズルなどで吸引。（ノズル有効幅35mm程度）