产品原理
磁控溅射电源的阳极、阴极分别连接做基体和靶材上，将一个强烈磁控管装置做靶材后部。当镀膜室被抽成真空状态时，充入一下***气等惰性气体，镀膜室内的高压将***原子电离成电子和***离子，形成等离子异常辉光放电。电离出来的电子在高压电场的作用下，做加速运动，不断与***原子发生强烈碰撞，这样产生许多二次电子和***离子。电子经过多次碰撞，电子的动能就会降低，从而脱离了磁力线的束缚，***终落在镀膜室内壁、阳极和集体上。***原子受到多次***离子碰撞，得到了大量动能，从而脱离了原来晶格束缚，飞向基片，从而大量的靶材原子积累在基体表面、沉积形成薄膜。组成靶材各种材料都可以成为阴极靶，用来进行溅射镀膜。当靶材的材料不同时，磁控溅射工艺对电源输出特性也不尽相同。
产品参数
输 入 电 压：市电AC380V&plu***n;10%
输出功率范围：0~80kW
输出电压范围：0~&plu***n;5000V
输出电流范围：0~&plu***n;100A
脉冲频率范围：0~50Hz
产品特点
适用于真空磁控溅射，可以根据真空设备与溅射要求设定电流、电压阈值， 工作频率、输出极性、工作模式；
本电源能实现交直流切换输出；稳流稳压多种模式切换；
中频、偏压两种编程输出；输出剥削可以设置实现正弦、脉冲方波、三角波、 梯形波等多种波形。
