一、此设备的高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用 K 型热偶。30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10寸工控电脑，内置PLC控制程序，可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。同时系统设置了超温、 欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
二、PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式,低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单。
技术参数
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设备整体结构 |
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加热原件 |
电阻丝 |
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额定电压 |
AC220V/380V 50/60HZ |
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功率 |
7KW |
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***高温度 |
1200℃ |
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炉管尺寸 |
外径Φ60*2330mm |
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加热区长度 |
230+230+230mm |
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控温方式
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模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制。 触屏操控界面 |
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设备重量 |
约300KG |
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三温区滑轨炉 |
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加热区长度 |
230mm+230mm+230mm |
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炉管长度 |
Φ60*2330mm 壁厚3mm |
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控温精度 |
&plu***n;1°C |
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控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰密封 |
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射频电源 |
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信号频率 |
13.56 MHz&plu***n;0.005% |
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功率输出范围 |
5W-500W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
&plu***n;0.1% |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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真空部分 |
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真空泵 |
DRV-16 |
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泵抽速 |
16m³/h |
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极限真空 |
5X10-1Pa |