NXQ4006光刻机的出射光强范围

NXQ4006光刻机的出射光强范围
NXQ4006光刻机技术参数：
1、芯片尺寸：5mm~150mm的圆片/方片和不规则碎片（支持对不规则碎片的特殊卡盘设计）；
2、***波长：350nm-450nm（其它波长可选配）；
3、***灯功率：350W/500W（其它功率可选配）；
4、分辨率：优于0.5um；
5、***模式：支持接近式***，各种接触式（真空接触、软接触、硬接触等）***；
6、出射光强范围：10mW/cm2~55mW/cm2@405nm；
7、支持恒定光强或恒定功率模式；
8、***时间：0.1~999.9s；
9、对准精度：双高清彩色CCD + 双高清彩色监视器，对准精度可达到0.4微米内；
10、掩膜尺寸：2 x 2英寸到 9 x 9英寸(2 x 2英寸需要掩膜转换器)；
11、光强均匀性Uniformity：
<&plu***n;1% over 2” 区域；
<&plu***n;2% over 4” 区域；
<&plu***n;3% over 6” 区域；
12、双面光刻：具备背面红外对准（IR BSA）和光学背面对准（OBS BSA），双面对准精度≤2μm；
13、电源：高灵敏度光强可控电源。
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