假如吸入很多氦气，体内的氧气将被氦气替代，从而导致缺氧（呼吸反射受受体中过量的二氧化碳驱动，并且对缺氧不敏感），乃至可能逝世。此外，假如直接从高压气瓶中吸入氦气，氦气的高流速会严重危害肺安排。很多的高压氦气和氧气会引起高压张力症状（HPNS），可是少数的氮气能够处理此问题。长期很多吸入氦气会导致脑部损伤乃至逝世。大多数炸薯条包装中还含有少数的氦气，高纯氦气，但请定心，无害。
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高纯氦气高压低温冷凝、吸附法是一种经典可靠的纯化技能，该技能工艺老练，被广泛应用在高纯度高纯氦气的提纯工艺中。高纯氧气用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源和出产高纯水的试的剂；干氧化与四氟化碳混合用于等离子体蚀刻。应留意高纯氧气的安全，氦气价格.，并应做好防震，防火，耐热和防油等作业。高纯氧气能够促进燃烧。应将其保存在阴凉处。禁止触摸烟的花和宜燃材料。请勿在氧气计的螺旋形嘴上放油。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，咸宁氦气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统需要先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。
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